江苏芯梦半导体设备有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏芯梦半导体设备有限公司申请的专利基片夹持装置及双面刷洗设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224084006U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520712245.0,技术领域涉及:H10P72/00;该实用新型基片夹持装置及双面刷洗设备是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成,并于2025-04-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本基片夹持装置及双面刷洗设备在说明书摘要公布了:本实用新型的实施例提供了一种基片夹持装置及双面刷洗设备,涉及半导体加工技术领域。基片夹持装置包括第一夹持组件,第一夹持组件的第一壳体上设置有两个第一主动轮;第二夹持组件,第二夹持组件的第二壳体上设置有两个第二主动轮,第一主动轮与第二主动轮之间形成卡持空间;转动件,以用于驱动所述第一主动轮与第二主动轮转动;移动件用于驱动第一夹持组件与第二夹持组件相向或相背移动;本实用新型提供的双面刷洗设备包括处理箱、双面刷洗组件与前述基片夹持装置。本实用新型提供的基片夹持装置及双面刷洗设备能够兼容不同尺寸的基片并保证清洗效果,提升双面刷洗设备的适用范围。
本实用新型基片夹持装置及双面刷洗设备在权利要求书中公布了:1.一种基片夹持装置,其特征在于,包括: 第一夹持组件,具有第一壳体,所述第一壳体上间隔设置有两个第一主动轮; 第二夹持组件,具有第二壳体,所述第二壳体上间隔设置有两个第二主动轮,两个所述第一主动轮与两个所述第二主动轮之间形成用于卡持基片的卡持空间; 转动件,在所述第一壳体与所述第二壳体内均有设置,以用于驱动所述第一主动轮与所述第二主动轮转动,从而带动基片转动; 移动件,分别与所述第一夹持组件和所述第二夹持组件连接,用于驱动所述第一夹持组件与所述第二夹持组件相向或相背移动,以改变两个所述第一主动轮与两个所述第二主动轮之间的距离。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人江苏芯梦半导体设备有限公司,其通讯地址为:215121 江苏省苏州市吴中区吴中经济开发区东吴南路25号城南科技产业园7幢(2号厂房)1、2层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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