江苏新顺微电子股份有限公司丁飞获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏新顺微电子股份有限公司申请的专利一种减少晶圆表面颗粒的石英载舟器结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224084012U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520392871.6，技术领域涉及：H10P72/10；该实用新型一种减少晶圆表面颗粒的石英载舟器结构是由丁飞;马金磊;朱显;周红伟设计研发完成，并于2025-03-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种减少晶圆表面颗粒的石英载舟器结构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种减少晶圆表面颗粒的石英载舟器结构，属于集成电路或分立器件芯片制造技术领域。包括两平行布置的支撑棒，两所述支撑棒之间通过连接单元固定连接，形成载舟器本体，石英舟支撑于所述载舟器本体上；所述载舟器本体两端分别设置挂载件，所述挂载件上连接推拉棒，所述推拉棒另一端与机械手固定连接；所述载舟器本体内对称设置滚轮单元，所述机械手驱动推拉棒前进或后退，使得滚轮单元带动载舟器本体在炉管内移动。本申请结构简单、巧妙，使用便捷，减少了颗粒吸附于晶圆表面，提高了晶圆表面质量。
本实用新型一种减少晶圆表面颗粒的石英载舟器结构在权利要求书中公布了：1.一种减少晶圆表面颗粒的石英载舟器结构，其特征在于：包括两平行布置的支撑棒，两所述支撑棒之间通过连接单元固定连接，形成载舟器本体，石英舟支撑于所述载舟器本体上；所述载舟器本体两端分别设置挂载件，所述挂载件上连接推拉棒，所述推拉棒另一端与机械手固定连接；所述载舟器本体内对称设置滚轮单元，所述机械手驱动推拉棒前进或后退，使得滚轮单元带动载舟器本体在炉管内移动。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏新顺微电子股份有限公司，其通讯地址为：214400 江苏省无锡市江阴市长山大道78号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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