江苏新顺微电子股份有限公司丁飞获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏新顺微电子股份有限公司申请的专利一种防止晶圆边缘粘附在片架卡栏上的TFL提篮结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224084013U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520392872.0,技术领域涉及:H10P72/10;该实用新型一种防止晶圆边缘粘附在片架卡栏上的TFL提篮结构是由丁飞;周红伟;朱显;马金磊设计研发完成,并于2025-03-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种防止晶圆边缘粘附在片架卡栏上的TFL提篮结构在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种防止晶圆边缘粘附在片架卡栏上的TFL提篮结构,属于集成电路或分立器件芯片制造技术领域。包括底框,所述底框上方设有横杆,所述横杆两端分别通过竖杆与底框固定连接;所述底框内设有两对称布置的支撑单元,所述支撑单元上分别开设倾斜布置的置物槽,片架设于所述置物槽内。任一所述支撑单元分别包括前后平行布置的第一支撑杆和第二支撑杆,所述第一支撑杆一端、第二支撑杆一端分别对于底框内壁,所述第一支撑杆、第二支撑杆通过连接螺杆固定于底框内。本申请结构简单,使用便捷,片架倾斜卡设于置物槽内,使得片架中的晶圆正面或背面边缘脱离片架卡栏,保证了晶圆清洗、冲水充分,提高了清洗效果。
本实用新型一种防止晶圆边缘粘附在片架卡栏上的TFL提篮结构在权利要求书中公布了:1.一种防止晶圆边缘粘附在片架卡栏上的TFL提篮结构,其特征在于:包括底框,所述底框上方设有横杆,所述横杆两端分别通过竖杆与底框固定连接;所述底框内设有两对称布置的支撑单元,所述支撑单元上分别开设倾斜布置的置物槽,两所述置物槽之间的间距与片架宽度相匹配,片架设于所述置物槽内,使得片架倾斜布置。
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