罗博特科智能科技股份有限公司戴军获国家专利权
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龙图腾网获悉罗博特科智能科技股份有限公司申请的专利一种石英舟及扩散炉获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224084014U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520472305.6，技术领域涉及：H10P72/10；该实用新型一种石英舟及扩散炉是由戴军;罗银兵;王政诗设计研发完成，并于2025-03-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种石英舟及扩散炉在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种石英舟及扩散炉，所述石英舟用于装载硅片，所述石英舟包括架体，其沿第一方向延伸设置，所述架体沿所述第一方向的两端还设有加强结构；放料单元，其包括承托组件和限位组件，所述承托组件沿着第二方向安装于所述架体，以承托所述硅片，所述第二方向与所述第一方向垂直；限位组件沿第二方向安装于所述架体，限位组件与所述承托组件配合形成至少一个收容空间，所述硅片收容并限位于至少一个所述收容空间；架体上还设置有透气孔组件，以使空气能够沿第二方向穿过；架体包括依次连接的第一侧板、第二侧板、第三侧板以及第四侧板。本实用新型能够方便对硅片进行插片，整体结构强度较高，不易碎裂，并能够有效提高工作效率。
本实用新型一种石英舟及扩散炉在权利要求书中公布了：1.一种石英舟，用于装载硅片，其特征在于：包括， 架体，其沿第一方向延伸设置，所述架体沿所述第一方向的两端还设有加强结构； 放料单元，其包括承托组件和限位组件，所述承托组件沿着第二方向安装于所述架体，以承托所述硅片，所述第二方向与所述第一方向垂直；所述限位组件沿所述第二方向安装于所述架体，所述限位组件与所述承托组件配合形成至少一个收容空间，所述硅片收容并限位于至少一个所述收容空间。
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