宁波舜宇仪器有限公司俞磊获国家专利权
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龙图腾网获悉宁波舜宇仪器有限公司申请的专利一种晶圆背面检测设备使用的晶圆固定装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224084033U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423244091.1，技术领域涉及：H10P72/76；该实用新型一种晶圆背面检测设备使用的晶圆固定装置是由俞磊;夏晨洋;毛海科;邵宣奋;陈祖贤;王波;周添祺设计研发完成，并于2024-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆背面检测设备使用的晶圆固定装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种晶圆背面检测设备使用的晶圆固定装置。该晶圆固定装置，包括：安装平台，安装平台开设有用于放置晶圆的安装孔；承接机构，承接机构用于承接晶圆的边缘；弹性夹持机构，弹性夹持机构包括滑轨、第一滑块和第二滑块、夹持组件、传动组件、弹性组件以及驱动组件，驱动组件能够带动传动组件相对滑轨滑动、并通过弹性组件带动夹持组件相对滑轨滑动，弹性组件具有预设压紧距离；以及传感器组件，传感器组件包括第一传感器和第一挡片，第一挡片被传动组件带动一同滑动，通过该第一传感器和该第一挡片的配合，能够在弹性组件到达预设压紧距离后，停止驱动组件，使晶圆受到的夹紧力保持不变，避免出现夹不紧晶圆或夹坏晶圆的异常。
本实用新型一种晶圆背面检测设备使用的晶圆固定装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆背面检测设备使用的晶圆固定装置，其特征在于，包括： 安装平台，所述安装平台开设有用于放置晶圆的安装孔； 承接机构，所述承接机构连接于所述安装平台，所述承接机构部分位于所述安装孔内，用于承接晶圆的边缘； 弹性夹持机构，所述弹性夹持机构包括固设于所述安装平台的滑轨、分别可滑动地连接于所述滑轨的第一滑块和第二滑块、固设于所述第二滑块的夹持组件、固设于所述第一滑块的传动组件、设置于所述夹持组件和所述传动组件之间的弹性组件以及固设于所述安装平台的驱动组件，所述滑轨向所述安装孔的方向延伸，所述驱动组件可传动地连接于所述传动组件；以及 传感器组件，所述传感器组件包括固设于所述夹持组件且与所述驱动组件电连接的第一传感器和固设于所述传动组件的第一挡片，所述第一挡片具有与所述第一传感器沿所述滑轨的延伸方向间隔布置的第一遮挡端。
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