江苏鲁汶仪器股份有限公司张风林获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏鲁汶仪器股份有限公司申请的专利气相腐蚀设备及气相分解金属沾污收集系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224098088U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423314253.4，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型气相腐蚀设备及气相分解金属沾污收集系统是由张风林;程实然;刘庆宝;邹志文;崔虎山;胡冬冬;许开东设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本气相腐蚀设备及气相分解金属沾污收集系统在说明书摘要公布了：本申请实施例提供一种气相腐蚀设备及气相分解金属沾污收集系统，气相腐蚀设备包括气相腐蚀腔、晶圆载台、进气组件和驱动组件，晶圆载台位于气相腐蚀腔内，进气组件包括匀气盘，使用时，沿所述匀气盘的轴向，所述匀气盘的下表面与晶圆上表面正对，驱动组件与进气组件传动连接，能够驱动匀气盘绕轴向旋转。随着匀气盘绕轴向旋转，匀气盘上的气道会逐渐对着晶圆上表面的不同区域，使得晶圆的上表面的大多数区域或者全部区域都有与气道正对的时候，这样使得晶圆上表面的大多数区域或者全部区域所接触的工艺气体量相同或者相差不大，因此能够提升腐蚀均匀性。
本实用新型气相腐蚀设备及气相分解金属沾污收集系统在权利要求书中公布了：1.一种气相腐蚀设备，其特征在于，所述气相腐蚀设备100包括气相腐蚀腔101、晶圆载台102、进气组件103和驱动组件104，所述晶圆载台102位于所述气相腐蚀腔101内，所述进气组件103包括匀气盘1031，使用时，沿所述匀气盘1031的轴向，所述匀气盘1031的下表面与晶圆上表面正对，所述驱动组件104与所述进气组件103传动连接，能够驱动所述匀气盘1031绕轴向旋转。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏鲁汶仪器股份有限公司，其通讯地址为：221300 江苏省徐州市邳州市经济开发区辽河西路8号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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