东莞市晟鼎精密仪器有限公司冼健威获国家专利权
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龙图腾网获悉东莞市晟鼎精密仪器有限公司申请的专利快速退火炉晶圆冷却装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224124536U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520854247.3，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型快速退火炉晶圆冷却装置是由冼健威;侯振健;汤洛颖设计研发完成，并于2025-04-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本快速退火炉晶圆冷却装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及晶圆加工技术领域，尤其是涉及一种快速退火炉晶圆冷却装置，包括承载座；开盒机构，具有安装于承载座的底板、安装于底板并用于顶开石墨盒的上盒体及下盒体的开盒顶柱及安装于底板并用于顶起晶圆的支撑顶柱；及，设于承载座的吹气口，吹气口能够向开盒机构吹出干燥气体。与现有技术相比，通过设置开盒机构，能够在石墨盒输入冷却装置后，利用开合顶柱将石墨盒下盒体及上盒体顶开，并通过支撑顶柱将晶圆顶起；实现石墨盒上盒体与下盒体采用无动力的自重方式开盒，较于使用气缸顶升的方式而言，能够提升上盒体及下盒体开盒的平顺性及可靠性；同时，能够保证上盒体及下盒体卡盒过程中不会划伤晶圆，进而提升了晶圆的生产良率。
本实用新型快速退火炉晶圆冷却装置在权利要求书中公布了：1.一种快速退火炉晶圆冷却装置，其特征在于，包括 承载座10； 开盒机构20，具有安装于承载座10的底板21、安装于底板21并用于顶开石墨盒200的上盒体2001及下盒体2002的开盒顶柱22及安装于底板21并用于顶起晶圆300的支撑顶柱23；及， 吹气口123，设于承载座10；吹气口123能够向开盒机构20吹出干燥气体。
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