台湾积体电路制造股份有限公司涂时雨获国家专利权
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龙图腾网获悉台湾积体电路制造股份有限公司申请的专利微影系统预防维修操作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112415857B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201911257046.0，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权微影系统预防维修操作方法是由涂时雨;张汉龙;张晓伦;陈立锐;郑博中设计研发完成，并于2019-12-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本微影系统预防维修操作方法在说明书摘要公布了：本案提供一种微影系统的预防维修操作方法，包括以下步骤：将金属液滴从液滴产生器的储蓄器喷向收集器前方的激发区，将激发激光朝向激发区发射，使得金属液滴通过激发激光加热以生成极紫外EUV辐射，停止激发激光的发射，使液滴产生器的储蓄器减压，使液滴产生器冷却至不低于约150℃的温度，以及在不低于约150℃的温度下用固体金属材料回填液滴产生器的储蓄器。
本发明授权微影系统预防维修操作方法在权利要求书中公布了：1.一种微影系统预防维修操作方法，其特征在于，包括以下步骤： 将一金属液滴从一液滴产生器的一储蓄器喷向一收集器前方的一激发区； 将一激发激光朝向该激发区发射，使得该金属液滴通过该激发激光加热以生成极紫外辐射； 停止该激发激光的该发射； 使该液滴产生器的该储蓄器减压； 将该液滴产生器冷却至不低于150℃的一温度；以及 在不低于150℃的该温度下用一固体金属材料回填该液滴产生器的该储蓄器，并且在真空环境中执行回填该液滴产生器的该储蓄器。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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