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龙图腾网获悉大连理工大学申请的专利一种抛光垫厚度和平面度在线测量装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115682995B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211296005.4，技术领域涉及：G01B11/30；该发明授权一种抛光垫厚度和平面度在线测量装置及方法是由康仁科;朱祥龙;董志刚;贾玙璠;杨垒设计研发完成，并于2022-10-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种抛光垫厚度和平面度在线测量装置及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种抛光垫厚度和平面度在线测量装置及方法，所述测量装置包括激光测距传感器、n个电涡流测距传感器、n个测量晶片单元和进给单元。本发明通过激光测距传感器实时获得激光测距传感器测头与测量晶片上表面和下表面距离，其中激光测距传感器测头与测量晶片下表面距离能反映抛光垫表面各点高度，计算能得抛光垫平面度，激光测距传感器测头与测量晶片上表面和下表面距离之差为测量晶片厚度。本发明采用间接测量的方法，消除测量对抛光过程的影响，避免探头损耗，并且测量过程不受抛光液干扰，能克服抛光垫多孔材质和开槽设计造成测量精度低的问题，本发明采用标准光学平晶标定，以补偿运动误差和装调误差，本发明中测量晶片单元中采用砝码加载方式，结构简单可靠，加载精度高。

本发明授权一种抛光垫厚度和平面度在线测量装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种抛光垫厚度和平面度在线测量装置，抛光垫3粘接在抛光盘1上，工件14紧贴在抛光垫3的表面上； 其特征在于：所述测量装置包括激光测距传感器6、n个电涡流测距传感器15、n个测量晶片单元、进给单元和测量支架； 所述测量支架包括梁架11、支撑柱12和磁性座13，所述支撑柱12有两个，分别固定在磁性座13上并安装在梁架11的两端；所述磁性座13放置在抛光机台2上；所述抛光机台2为铁质机台； 所述n个测量晶片单元并排且等距等高固定在梁架11侧面；相邻两个测量晶片单元的中心轴线之间的距离为a； 所述进给单元包括丝杠7、导轨8、电机10和导轨滑台5，所述导轨8有两条、沿水平方向平行固定安装在梁架11上，所述丝杠7安装在两条导轨8之间的梁架11上，丝杠7通过螺纹连接方式与导轨滑台5连接，所述导轨滑台5与导轨8滑动连接；丝杠7的一端与电机10的输出轴固定连接，所述电机10固定安装在梁架11上；所述激光测距传感器6竖直安装在导轨滑台5上，电机10通过驱动丝杠7旋转，实现导轨滑台5的水平方向移动； 所述测量晶片单元包括测量晶片4、导向柱101、螺钉B102、垫片103、砝码104、转接件105、加载轴106、气浮轴套107、支撑座108、螺钉C109和夹具110，所述夹具110通过螺钉C109固定在加载轴106下端面，所述导向柱101通过转接件105固定在加载轴106的中心，所述转接件105通过螺钉B102和垫片103固定在加载轴106上端面，所述支撑座108通过螺钉A9固定在梁架11上；所述气浮轴套107安装在支撑座108内，所述加载轴106嵌套在气浮轴套107内；工作时，在气浮轴套107和加载轴106之间的间隙里通入0.2~0.6MPa的洁净空气，在气膜压力的作用下，加载轴106稳定在气浮轴套107中心，所述砝码104嵌套在导向柱101上，导向柱101和加载轴106共轴，导向柱101、加载轴106和夹具110的中心均为通孔；所述电涡流测距传感器15嵌入在夹具110内，电涡流测距传感器15的下表面紧贴测量晶片4的上表面； 所述激光测距传感器6测头发射的激光，通过导向柱101、加载轴106和夹具110中心的通孔，同时测量激光测距传感器6测头距测量晶片4上表面的距离和激光测距传感器6测头距测量晶片4下表面的距离。

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