京瓷株式会社浜岛浩获国家专利权
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龙图腾网获悉京瓷株式会社申请的专利夹紧用夹具、夹紧用夹具的制造方法以及清洗装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116348211B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180068340.6,技术领域涉及:H10P72/76;该发明授权夹紧用夹具、夹紧用夹具的制造方法以及清洗装置是由浜岛浩设计研发完成,并于2021-09-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本夹紧用夹具、夹紧用夹具的制造方法以及清洗装置在说明书摘要公布了:本发明的夹紧用夹具包括:支柱部;把持部,其位于支柱部的一方的端部,并把持基板的外周部;以及基部,其位于支柱部的另一方的端部,并支承支柱部。至少基部包含以碳化硅为主成分的陶瓷。基部的上侧主面与基部的下侧主面相比,表示基部的长边方向的粗糙度曲线中的25%的负载长度率处的截面高度与粗糙度曲线中的75%的负载长度率处的截面高度之差的截面高度差Rδcl的平均值小。
本发明授权夹紧用夹具、夹紧用夹具的制造方法以及清洗装置在权利要求书中公布了:1.一种夹紧用夹具,其中, 所述夹紧用夹具包括: 支柱部; 把持部,其位于该支柱部的一方的端部,并把持基板的外周部;以及 基部,其位于该支柱部的另一方的端部,并支承所述支柱部, 至少所述基部包含以碳化硅为主成分的陶瓷, 所述基部的上侧主面与所述基部的下侧主面相比,表示所述基部的长边方向的粗糙度曲线中的25%的负载长度率处的截面高度与所述粗糙度曲线中的75%的负载长度率处的截面高度之差的截面高度差Rδcl的平均值小。
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