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龙图腾网获悉拓荆键科(海宁)半导体设备有限公司申请的专利用于晶圆键合对准检测的装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116412781B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111636900.1，技术领域涉及：G01B11/27；该发明授权用于晶圆键合对准检测的装置及方法是由王茁;王晨设计研发完成，并于2021-12-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于晶圆键合对准检测的装置及方法在说明书摘要公布了：本申请涉及用于晶圆键合对准检测的装置及方法。该装置包括成像部和光源部。成像部包括：成像组件；第一微调滑台，其用以调节成像组件与x轴的夹角；及第二微调滑台，其用以调节成像组件与y轴的夹角。光源部与成像部在z轴方向上相对设置且包括：光源组件；第三微调滑台，其用以调节光源组件与x轴的夹角；及第四微调滑台，其用以调节光源组件与y轴的夹角。x轴、y轴和z轴中的任意两轴都互相垂直。光源组件经配置以对安置于成像组件和光源组件之间的晶圆进行照明，成像组件经配置以对晶圆进行显微成像以获得图像。成像部和光源部中的至少一者进一步包括第五微调滑台，其用以调节成像组件和光源组件中的至少一者在z轴方向上的位移。

本发明授权用于晶圆键合对准检测的装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆键合对准检测的装置，其包括： 成像部，其包括： 成像组件； 第一微调滑台，其用以调节所述成像组件与x轴的夹角；及 第二微调滑台，其用以调节所述成像组件与y轴的夹角；及 光源部，其与所述成像部在z轴方向上相对设置且包括： 光源组件； 第三微调滑台，其用以调节所述光源组件与所述x轴的夹角；及 第四微调滑台，其用以调节所述光源组件与所述y轴的夹角； 其中，所述x轴、所述y轴和所述z轴中的任意两轴都互相垂直，所述光源组件经配置以对安置于所述成像组件和所述光源组件之间的晶圆进行照明，所述成像组件经配置以对所述晶圆进行显微成像以获得图像，其中所述成像部和所述光源部中的至少一者进一步包括第五微调滑台，所述第五微调滑台用以调节所述成像组件和所述光源组件中的至少一者在所述z轴方向上的位移，所述第一微调滑台、所述第二微调滑台、所述第三微调滑台、所述第四微调滑台及所述第五微调滑台相互配合，以使所述成像部和所述光源部之间达到使所述成像组件采集的图像达到最佳对比度的最佳位置关系。

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