株式会社尼康鬼头义昭获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉株式会社尼康申请的专利图案曝光装置以及图案曝光方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116569093B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180082822.7，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权图案曝光装置以及图案曝光方法是由鬼头义昭;加藤正纪设计研发完成，并于2021-12-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本图案曝光装置以及图案曝光方法在说明书摘要公布了：具有在基板上描绘图案的描绘单元的图案曝光装置具有：第1光源装置，其射出第1光束；第2光源装置，其射出第2光束；光束合成部，其将来自第1光源装置的第1光束和来自第2光源装置的第2光束以分别入射到描绘单元的方式进行合成；光束形状变形部，其以使投射到基板上的第1光束所形成的第1点光的形状与第2光束所形成的第2点光的形状相互不同的方式使入射到光束合成部的第1光束与第2光束各自的截面形状相互不同；以及控制装置，其以利用第1点光和第2点光中的任意一方或双方对在基板上描绘的图案的至少边缘部进行描绘的方式进行控制。
本发明授权图案曝光装置以及图案曝光方法在权利要求书中公布了：1.一种图案曝光装置，其具有描绘单元，该描绘单元使从光源装置供给的光束所形成的点光沿主扫描方向扫描而在基板上描绘图案，其中， 该图案曝光装置具有： 第1光源装置，其射出第1光束； 第2光源装置，其射出第2光束； 光束合成部，其将来自所述第1光源装置的所述第1光束和来自所述第2光源装置的所述第2光束以分别入射到所述描绘单元的方式进行合成； 光束形状变形部，其使入射到所述光束合成部的所述第1光束与所述第2光束各自的截面形状相互不同，以使得投射到所述基板上的所述第1光束所形成的第1点光的形状与所述第2光束所形成的第2点光的形状相互不同；以及 控制装置，其控制为利用所述第1点光和所述第2点光中的任意一方或双方对在所述基板上描绘的图案的至少边缘部进行描绘。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人株式会社尼康，其通讯地址为：日本东京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励