广州番禺职业技术学院袁军平获国家专利权
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龙图腾网获悉广州番禺职业技术学院申请的专利一种高利用率的贵金属靶材的制备方法及贵金属靶材获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117127158B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311124008.4，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种高利用率的贵金属靶材的制备方法及贵金属靶材是由袁军平设计研发完成，并于2023-09-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高利用率的贵金属靶材的制备方法及贵金属靶材在说明书摘要公布了：本发明公开了一种高利用率的贵金属靶材的制备方法及贵金属靶材，该制备方法包括根据溅射靶面被刻蚀区的刻蚀规律，得到刻蚀区的最终形状；根据溅射镀膜机的靶座规格，将靶材设计成与刻蚀区的最终形状相反的环形凸起结构，得到第一种靶材结构；将第一种靶材结构分为多个部分，得到第二种靶材结构；根据第二种靶材结构，制作靶材。上述制备方法通过针对溅射靶面不断被刻蚀而形成的环形凹槽的过程，将靶面设置成反向的环形凸起结构，使溅射过程针对凸起部位激发，从而大幅减少靶材的初始整体厚度，将靶材设置为多个部分，通过拼接结构，既保证了溅射效果，又进一步地大幅减少了贵金属的用量，降低了靶材的一次投入，从而显著提高了靶材的利用率。
本发明授权一种高利用率的贵金属靶材的制备方法及贵金属靶材在权利要求书中公布了：1.一种高利用率的贵金属靶材的制备方法，其特征在于，包括如下制备步骤： S1：根据溅射靶面被刻蚀区的刻蚀规律，得到刻蚀区的最终形状； S2：根据溅射镀膜机的靶座规格，将靶材设计成与刻蚀区的最终形状相反的环形凸起结构，得到第一种靶材结构；环形凸起结构为：在溅射轨迹中央设为最高部位，逐渐向边缘呈马鞍状过渡，靶材的其余部位为平面，靶材的平面部分的厚度控制在2～3mm，靶材的最高部位比靶材的平面高出5～10mm； S3：根据步骤S2得到第一种靶材结构，将第一种靶材结构分为多个部分，得到第二种靶材结构；具体的操作步骤为：靶材设置为间接冷却方式，将靶材分成顶部段、底部段及若干个中间段，采用CNC将靶材的底面、靶材各段之间的结合面铣平； S4：根据步骤S3得到第二种靶材结构，制作靶材。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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