买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利基板处理装置和基板处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117160955B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310647054.6，技术领域涉及：B08B3/02；该发明授权基板处理装置和基板处理方法是由山本滋;秋山刚志;藤井大树;枝光建治设计研发完成，并于2023-06-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本基板处理装置和基板处理方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种基板处理装置和基板处理方法。基板处理装置具备：处理槽，其贮存处理液；腔室，其包围处理槽；溶剂蒸气喷嘴，其向腔室内供给溶剂蒸气；清洗液喷嘴，其向腔室内供给清洗液；以及控制部。控制部在预先设定的期间进行浸渍处理和干燥处理，该浸渍处理使基板浸渍在贮存于处理槽的处理液中，该干燥处理使用从溶剂蒸气喷嘴供给的溶剂蒸气，使在处理液中被处理并被从处理槽提起的基板干燥。控制部从清洗液喷嘴向腔室内供给清洗液，并使处理槽浸渍在贮存于腔室的清洗液中，从而进行对包括处理槽的外壁的腔室内进行清洗的腔室清洗处理。

本发明授权基板处理装置和基板处理方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其特征在于，具备： 处理槽，其贮存处理液； 腔室，其包围所述处理槽； 溶剂蒸气喷嘴，其向所述腔室内供给溶剂蒸气； 清洗液喷嘴，其向所述腔室内供给清洗液； 斥水剂蒸气喷嘴，其向所述腔室内供给斥水剂蒸气；以及 控制部， 所述控制部在预先设定的期间进行浸渍处理和干燥处理，该浸渍处理使基板浸渍在贮存于所述处理槽的所述处理液中，该干燥处理使用从所述溶剂蒸气喷嘴供给的所述溶剂蒸气，使在所述处理液中被处理并被从所述处理槽提起的所述基板干燥， 所述控制部从所述清洗液喷嘴向所述腔室内供给所述清洗液，并使所述处理槽浸渍在贮存于所述腔室的所述清洗液中，从而进行对包括所述处理槽的外壁的所述腔室内进行清洗的腔室清洗处理， 所述控制部在进行所述浸渍处理后进行所述腔室清洗处理， 所述控制部在进行所述腔室清洗处理后进行所述干燥处理， 所述控制部在进行所述浸渍处理后，为了使所述基板为斥水性而进行从所述斥水剂蒸气喷嘴向所述腔室内供给所述斥水剂蒸气的斥水剂蒸气供给处理， 所述控制部在进行所述斥水剂蒸气供给处理后进行所述腔室清洗处理。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人株式会社斯库林集团，其通讯地址为：日本京都府；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。