上海大学;上海大学绍兴研究院霍彩霞获国家专利权
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龙图腾网获悉上海大学;上海大学绍兴研究院申请的专利一种化学气相沉积炉的导流装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117488277B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311659380.5，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权一种化学气相沉积炉的导流装置是由霍彩霞;王闫锋;李爱军;涂建新;张方舟;屠俊阳;张齐贤设计研发完成，并于2023-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种化学气相沉积炉的导流装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种化学气相沉积炉的导流装置，包括阿基米德螺线导流锥和十字导流支架，所述阿基米德螺线导流锥包括锥本体和阿基米德螺线，所述阿基米德螺线分布在所述锥本体的锥面上形成导流槽，所述十字导流支架包括带孔底座和导流杆，所述阿基米德螺线导流锥安插于带孔底座上，所述带孔底座与导流杆连通，本发明采用阿基米德螺线导流和十字导流支架组合的方式，相比于其他模具，提高了沉积均匀性，既保证多路气体均匀混合又控制气体流场沿径向均匀分布，提高了沉积效率。
本发明授权一种化学气相沉积炉的导流装置在权利要求书中公布了：1.一种化学气相沉积炉的导流装置，其特征在于，包括阿基米德螺线导流锥和十字导流支架，所述阿基米德螺线导流锥包括锥本体和阿基米德螺线，所述阿基米德螺线分布在所述锥本体的锥面上，所述十字导流支架包括带孔底座和导流杆，所述阿基米德螺线导流锥安插于带孔底座上，所述带孔底座与导流杆连通，所述阿基米德螺线导流锥通过带孔底座与导流杆连通；所述阿基米德螺线导流锥锥本体的锥面上刻有阿基米德螺线形成导流槽，所述导流槽通过带孔底座与导流杆连通。
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