吉林大学李红东获国家专利权
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龙图腾网获悉吉林大学申请的专利采用电沉积制备ZnO@BDD薄膜的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117551981B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311351614.X，技术领域涉及：C23C16/40；该发明授权采用电沉积制备ZnO@BDD薄膜的方法是由李红东;耿子怡;崔政;刘尧峰;刘钧松;高楠;成绍恒设计研发完成，并于2023-10-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本采用电沉积制备ZnO@BDD薄膜的方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种采用电沉积制备ZnO@BDD薄膜的方法，属于金刚石薄膜技术领域。本发明通过电化学沉积的方法，在掺硼金刚石衬底上制备氧化锌薄膜，形成ZnO@BDD复合结构。在制备氧化锌和掺硼金刚石复合结构薄膜时，沉积电压的调节非常重要，沉积电压在其形成微米级别的锥形结构和取向分布中，起到较大作用。在‑0.7V到‑1.1V恒电位沉积条件下，所形成的结构取向分布，提供了更多活性位点，通过测试表明，具有更好的电化学性能电极。组成的对称性超级电容器具有较好稳定性和可重复使用性，并且制备方法工艺简单，便于大规模制备。
本发明授权采用电沉积制备ZnO@BDD薄膜的方法在权利要求书中公布了：1.采用电沉积制备ZnO@BDD薄膜的方法，其特征在于，该方法的具体步骤为： 1采用化学气相沉积方法制备硼掺杂金刚石薄膜： 将清洗过的硅片作为生长衬底，通过化学气相沉积在衬底上沉积多晶掺硼金刚石薄膜；气相沉积过程中，以CH4H2体积比为5％的氢气和甲烷混合气为反应源，硼源为由氢气引入的硼酸三甲酯；反应室内压力为12kPa，衬底温度为900℃； 2电沉积生成ZnO@BDD薄膜： 采用标准三电极体系，电解液为由体积比为1:1:1的0.02molL硝酸锌溶液、0.01molL六亚甲基四胺溶液和0.01molL乙酸铵溶液配制的混合溶液；以步骤1所得硼掺杂金刚石薄膜为工作电极，AgAgCl3MKCl为参比电极，Pt为对电极，在90℃的温度下，以-0.7V～-1.1V的恒电位控制方式进行电沉积，在硼掺杂金刚石薄膜上电沉积ZnO薄膜，获得ZnO@BDD薄膜。
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