成都高真科技有限公司李东根获国家专利权
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龙图腾网获悉成都高真科技有限公司申请的专利一种用于快速热处理设备的零件间隙检测调节系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117672901B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211024411.5，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权一种用于快速热处理设备的零件间隙检测调节系统是由李东根设计研发完成，并于2022-08-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于快速热处理设备的零件间隙检测调节系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于快速热处理设备的零件间隙检测调节系统，包括：磁浮驱动单元、磁浮转子、传感单元和控制单元，待处理晶圆置于磁浮转子之上，所述磁浮转子基于磁浮驱动单元产生的磁场完成于工艺腔内的悬浮；所述传感单元包括若干用于测量磁浮转子与工艺腔侧壁距离的第一传感器，和若干用于测量磁浮转子与工艺腔底板距离的第二传感器；且所述传感单元与工艺腔为分离式设置；所述控制单元基于传感单元的测量结果控制磁浮驱动单元，完成磁浮转子的位置调节。本发明零件间隙检测调节系统通过将传感单元与工艺腔分离设置，从根源上解决了由于腔体振动造成其上连接的传感器位置偏差从而导致测量结果偏差的问题。
本发明授权一种用于快速热处理设备的零件间隙检测调节系统在权利要求书中公布了：1.一种用于快速热处理设备的零件间隙检测调节系统，其特征在于，所述零件间隙检测调节系统包括：磁浮驱动单元202、磁浮转子203、传感单元和控制单元，待处理晶圆204置于磁浮转子203之上； 其中，所述磁浮驱动单元202内嵌于工艺腔201的腔体底板之上，所述磁浮转子203基于磁浮驱动单元202产生的磁场202a完成于工艺腔201内的悬浮； 所述传感单元包括若干用于测量磁浮转子203与工艺腔201侧壁距离的第一传感器205，和若干用于测量磁浮转子203与工艺腔201底板距离的第二传感器206；且所述传感单元与工艺腔201为分离式设置； 所述控制单元基于传感单元的测量结果控制磁浮驱动单元202，完成磁浮转子203的位置调节。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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