江苏博敏电子有限公司王小云获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏博敏电子有限公司申请的专利一种解决Cavity产品位置铜面残胶和绑定PAD尺寸偏小加工方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121194409B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511276709.9,技术领域涉及:H05K3/46;该发明授权一种解决Cavity产品位置铜面残胶和绑定PAD尺寸偏小加工方法是由王小云;孙守军;覃新设计研发完成,并于2025-09-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种解决Cavity产品位置铜面残胶和绑定PAD尺寸偏小加工方法在说明书摘要公布了:本发明涉及HDI印刷线路板加工技术领域,具体为一种解决Cavity产品位置铜面残胶和绑定PAD尺寸偏小加工方法,镭射Cavity加工后,通过将特征向量输入训练后的梯度提升回归树GBRT模型,输出自适应Plasma参数,采用自适应Plasma参数对Cavity铜面进行Plasma处理;本发明通过采用GBRT模型自适应输出Plasma参数,结合A*算法规划的喷砂路径,实现残胶特征与处理参数的动态匹配;其中GBRT模型对Plasma参数的预测误差≤5%,确保待优化区域优先覆盖,路径重叠率≤5%,最终残胶去除率提升至98%以上,解决传统固定参数处理不彻底的问题。
本发明授权一种解决Cavity产品位置铜面残胶和绑定PAD尺寸偏小加工方法在权利要求书中公布了:1.一种解决Cavity产品位置铜面残胶和绑定PAD尺寸偏小加工方法,其特征在于,包括以下步骤: 步骤1:镭射Cavity加工后,对Cavity位置铜面进行残胶特征采集,获取残胶平均厚度、最大厚度、类型及分布密度的特征向量,将所述特征向量输入训练后的梯度提升回归树模型,输出自适应Plasma参数,采用所述自适应Plasma参数对Cavity铜面进行Plasma处理; 步骤1中所述残胶特征采集采用分辨率为2048×1080像素的高分辨率线阵相机,结合同轴光源以10帧秒的速率采集图像;其中,残胶厚度通过公式T=0.2×G-Gb计算,G为采集图像中残胶区域的灰度值,Gb为无残胶铜面的基准灰度值,通过预先采集标准无残胶样本校准,0.2为基于实验数据拟合的灰度-厚度转换系数,每10个灰度值对应2μm厚度;残胶类型通过纹理熵值E区分:当E<5时,判定为碳粉残留,此时记残胶类型C=0;当E>8时,判定为树脂残留,此时记残胶类型C=1; 步骤1中所述梯度提升回归树模型的训练过程包括:收集1000组含残胶的特征输入向量与最优Plasma输出参数的历史工艺数据,按8:2划分为训练集与验证集;设置回归树数量为300棵、学习率为0.1、单棵树最大深度为5、子采样比例为0.8;所述最优Plasma参数包括四氟化碳气体流量20-50sccm、射频功率100-300W、处理时间30-120s; 步骤2:Plasma处理后,通过激光测厚仪对Cavity铜面进行残胶复检,筛选残胶厚度大于3μm的待优化区域,基于所述待优化区域的平均残胶厚度计算喷淋压力、砂水比例及喷嘴移动速度,结合A*算法规划喷嘴路径,采用金刚砂与水的混合物进行喷砂处理; 步骤2中所述金刚砂与水的混合物中,砂水比例在残胶平均厚度Havg<5μm时,按R=0.2×Havg+1计算,在Havg≥5μm时,固定为1:2; 步骤2中所述喷砂参数的计算方式为:喷淋压力L=0.1×Havg+0.2;喷嘴移动速度V在Havg<8μm时,按V=-0.5×Havg+5计算,在Havg≥8μm时,固定速度为1mms,其中,Havg为待优化区域内残胶厚度的算术平均值; 步骤2中所述A*算法的应用包括:将Cavity铜面离散为1mm×1mm的二维网格地图,定义评估函数,为从起点到当前节点n的实际喷砂成本,待优化区域,=1,非待优化区域,=5;为从当前节点n到最近待优化区域节点的曼哈顿距离,优先覆盖待优化区域,非待优化区域采用喷淋压力0.2MPa、喷嘴速度5mms处理; 步骤3:喷砂处理后,采用真空压膜机进行二次干膜压膜,依次进行外层二次曝光、外层二次酸蚀及退膜; 步骤4:退膜后,通过二次AOI检测确认Cavity周边绑定PAD尺寸,最终完成化学镍钯金、IR烘干、板翘压烤、电铣、电测及OQC检验。
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