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龙图腾网获悉浙江大学申请的专利基于掩膜旋转的相移点衍射干涉仪系统误差标定方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121252974B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511804342.3，技术领域涉及：G01J9/02；该发明授权基于掩膜旋转的相移点衍射干涉仪系统误差标定方法是由周宇翀;高金铭;武立哲;吴兰;王向朝设计研发完成，并于2025-12-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于掩膜旋转的相移点衍射干涉仪系统误差标定方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于掩膜旋转的相移点衍射干涉仪系统误差标定方法。本发明提出的点衍射干涉仪系统误差标定方法所需的硬件结构简单，与传统的点衍射干涉仪标定方法相比，并未增加额外的光学模块，能够实现亚纳米级系统误差标定。本发明提出的相移点衍射干涉仪系统误差标定方法通过旋转对准标记精确控制掩膜旋转角度，使得由针孔衍射带来的衍射误差成为旋转前后的变量，并利用泽尼克多项式在单位圆域的正交特性和奇偶对称性质标定出针孔衍射误差，与常规的掩膜替换法和旋转待测光学系统法相比，进一步降低了系统误差；与多次旋转针孔取平均的方法相比，降低了操作复杂度。

本发明授权基于掩膜旋转的相移点衍射干涉仪系统误差标定方法在权利要求书中公布了：1.基于掩膜旋转的相移点衍射干涉仪系统误差标定方法，相移点衍射干涉仪包括物面掩膜模块和像面掩膜模块，物面掩膜模块包括物面针孔掩膜，像面掩膜模块包括像面针孔-窗口掩膜和像面窗口-窗口掩膜； 其特征在于，所述基于掩膜旋转的相移点衍射干涉仪系统误差标定方法包括以下步骤： S1，将像面掩膜模块中的掩膜设置为像面针孔-窗口掩膜，获得第一幅干涉图；第一幅干涉图携带的波像差信息包括：物面针孔衍射误差、待测光学系统波像差、像面针孔衍射误差、其余系统误差； S2，旋转物面针孔掩膜，获得第二幅干涉图，根据第一幅干涉图和第二幅干涉图解算出物面针孔衍射误差中的非旋转对称成分；第二幅干涉图携带的波像差信息包括：旋转后的物面针孔衍射误差、待测光学系统波像差、像面针孔衍射误差、其余系统误差； S3，将物面针孔掩膜恢复到旋转前的状态，旋转像面针孔-窗口掩膜，获得第三幅干涉图，根据第一幅干涉图和第三幅干涉图解算出像面针孔衍射误差中的非旋转对称成分；第三幅干涉图携带的波像差信息包括：物面针孔衍射误差、待测光学系统波像差、旋转后的像面针孔衍射误差、其余系统误差； S4，将像面掩膜模块中的像面针孔-窗口掩膜替换为像面窗口-窗口掩膜，获得第四幅干涉图；第四幅干涉图携带的波像差信息包括：其余系统误差； S5，从第一幅干涉图携带的波像差信息中减去物面针孔衍射误差中的非旋转对称成分、像面针孔衍射误差中的非旋转对称成分、其余系统误差，得到待测光学系统波像差。

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