买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉江西兆驰集成科技有限公司;江西兆驰半导体有限公司申请的专利基于芯片制备过程的多模态数据的缺陷识别方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121366167B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511948447.6，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权基于芯片制备过程的多模态数据的缺陷识别方法及装置是由谢志文;张瀚;陈铭胜;文国昇;金从龙;敖应权设计研发完成，并于2025-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于芯片制备过程的多模态数据的缺陷识别方法及装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于芯片制备过程的多模态数据的缺陷识别方法及装置，该方法包括：在外延生长完成后，获取石墨载具图像，生成石墨载具与晶圆映射图；对待测晶圆执行多模态成像，采集灰阶图像、反射率图像和光致发光强度图像并按像素级同步，分别进行归一化处理，根据归一化结果计算物理归一化因子得到多模态图像；构建晶圆网格空间数据库，将多模态图像、电性测试数据及石墨载具图像中的异常区域存入至晶圆网格空间数据库；基于映射后的多模态图像、电性测试数据及石墨载具图像中的异常区域的多源数据，按照预设规则识别出缺陷类型。本发明解决了现有技术中由于芯片制作过程当中的产生的数据相互独立导致缺陷根因分析效率低的问题。

本发明授权基于芯片制备过程的多模态数据的缺陷识别方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种基于芯片制备过程的多模态数据的缺陷识别方法，其特征在于，所述方法包括： 在外延生长完成后，通过集成于下片机的工业相机对石墨载具表面进行原位拍摄获取石墨载具图像，并从外延生长设备控制器读取晶圆在石墨载具上的放置方位角； 基于石墨载具图像和放置方位角，建立石墨载具坐标系与晶圆坐标系之间的空间映射关系，生成石墨载具与晶圆映射图； 对待测晶圆执行多模态成像，采集灰阶图像、反射率图像和光致发光强度图像并按像素级同步，对灰阶图像、反射率图像和光致发光强度图像三通道图像分别进行归一化处理，根据归一化结果计算物理归一化因子得到多模态图像； 将晶圆表面划分为预设大小的网格单元，并为每个网格单元分配唯一网格标识符，构建晶圆网格空间数据库，将多模态图像、电性测试数据及石墨载具图像中的异常区域均映射至对应网格标识符以存入至晶圆网格空间数据库； 基于映射后的多模态图像、电性测试数据及石墨载具图像中的异常区域的多源数据，按照预设规则识别出缺陷类型； 所述对灰阶图像、反射率图像和光致发光强度图像三通道图像分别进行归一化处理，根据归一化结果计算物理归一化因子得到多模态图像的步骤包括： 其中，为得到的归一化灰度值，为归一化反射率，为归一化光电，为灰阶图像，为反射率图像，为光致发光强度图像，、、、分别为当前批次晶圆在对应通道下的动态极值，为物理归一化因子，=0.01用于防止除零操作，为数值截断操作。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江西兆驰集成科技有限公司;江西兆驰半导体有限公司，其通讯地址为：330000 江西省南昌市高新技术产业开发区天祥北大道1717号101厂房P102房间；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。