中山大学;重庆大学肖华攀获国家专利权
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龙图腾网获悉中山大学;重庆大学申请的专利一种用于脆性晶片的非线性超声检测装置及其使用方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121385101B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511976094.0,技术领域涉及:G01N29/04;该发明授权一种用于脆性晶片的非线性超声检测装置及其使用方法是由肖华攀;房御恒;尹莘新;许才彬;邓明晰设计研发完成,并于2025-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于脆性晶片的非线性超声检测装置及其使用方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种用于脆性晶片的非线性超声检测装置及其使用方法,包括底板,底板的顶部设有若干支腿;支腿的顶端设有连接架,用于检测时放置晶片;底板的顶部设有位于若干支腿之间的调节架;调节架设有检测机构,检测机构用于对晶片进行超声检测;底板的顶部设有转运架,转运架用于将晶片吸附转运至连接架内放置。本发明采用吸盘吸附转运,安装钩内侧设有硅胶软垫,避免物理接触导致的晶片划伤或碎裂,适配脆性晶片,破损率降低;连接架的安装钩可同步移动,适配直径50‑300mm的圆形晶片及多种异形晶片,无需更换夹具,提升检测通用性;检测角度连续可调,无需更换探头,满足不同入射角度的检测需求,操作效率提升,操作更便利。
本发明授权一种用于脆性晶片的非线性超声检测装置及其使用方法在权利要求书中公布了:1.一种用于脆性晶片的非线性超声检测装置,其特征是:包括底板1,底板1的顶部设有若干支腿2; 支腿2的顶端设有连接架5,用于检测时放置晶片4; 连接架5放置晶片4的尺寸可调节,用于放置不同尺寸和形状的晶片4; 底板1的顶部设有位于若干支腿2之间的调节架3; 调节架3设有检测机构8,检测机构8用于对晶片4进行超声检测; 底板1的顶部设有转运架6,转运架6用于将晶片4吸附转运至连接架5内放置; 底板1的顶部设有暂存台7,用于放置被测晶片4,便于转运架6直接吸取; 支腿2的数量为四个; 调节架3的数量为两个,两个调节架3设置于不同的两个支腿2之间; 调节架3包括设于两个支腿2之间的第一导杆303和第一螺杆302; 第一导杆303上滑动连接有第一活动座301;第一螺杆302穿过第一活动座301,并与第一活动座301螺纹连接; 支腿2设有第一电机304,第一电机304的输出轴与第一螺杆302的端部传动连接; 第一活动座301设有活动板305,活动板305远离活动座301一端的顶端设有支撑板306,活动座301和支撑板306之间设有第二导杆307和第二螺杆308; 第二导杆307滑动连接有第二活动座310;第二螺杆308穿过第二活动座310,并与第二活动座310螺纹连接; 第一活动座301设有第二电机309,第二电机309的输出轴与第二螺杆308的端部传动连接; 第二活动座310的顶部设有第三导杆312,第三导杆312的顶部设有固定板313;固定板313和第二活动座310之间设有第三螺杆314; 第三导杆312滑动连接有第三活动座316;第三螺杆314穿过第三活动座316,并与第三活动座316螺纹连接; 第二活动座310底部设有第三电机315,第三电机315的输出轴与第三螺杆314的端部传动连接; 第三活动座316设有检测机构8; 底板1的顶部设有若干滑轨311,滑轨311的滑动端与活动板305连接; 检测机构8包括有机玻璃楔块外壳801;有机玻璃楔块外壳801通过螺钉固定; 检测器802通过螺钉固定在转动板806上,转动板806转动角度与检测器802转动角度相同; 转动板806的一端与有机玻璃楔块外壳801铰接,另一端铰接有调节块809;有机玻璃楔块外壳801内侧铰接有调节板805; 调节块809与调节板805滑动连接; 调节板805、调节块809和转动板806均为有机玻璃材质; 转动板806通过螺钉固定有柔性波纹管803的一端;柔性波纹管803开口可以完全覆盖检测器802的超声波发射接收范围;柔性波纹管803另一端通过螺钉固定于有机玻璃楔块外壳801上方开口处;两处连接处均有密封圈807进行液体密封; 有机玻璃楔块外壳801设有通孔用于进液,进液管804通过螺钉与有机玻璃楔块外壳801连接,并设有密封圈807在两者之间进行液体密封,且连通通孔; 有机玻璃楔块外壳801侧面设有弧形通孔,其上刻有刻度,用于观察检测器802转动角度; 有机玻璃楔块外壳801的弧形通孔中设有位置旋钮808,位置旋钮808与转动板806螺纹连接; 连接架5包括若干固定杆501,若干固定杆501的一端固定在一起,固定杆501的另一端与支腿2的顶端固定; 固定杆501连接处的顶端设有第四电机507; 第四电机507的输出轴设有连接轴508,连接轴508设有齿轮509; 固定杆501外滑动连接有活动套503,活动套503的底部设有安装钩504,安装钩504的底端向内弯曲,并设有软垫; 固定杆501的顶端设有滑槽502,活动套503内置滑块延伸至滑槽502内; 固定杆501两侧均设有活动槽505,活动槽505内滑动连接有齿条506; 齿条506与齿轮509啮合,齿条506的一端与活动套503固定连接; 一个齿条506仅连接一个活动套503,不平行的齿条506高度不同。
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