买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉中国科学院大连化学物理研究所申请的专利一种电子束斑的自动对中方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121394272B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511950114.7，技术领域涉及：H01J37/26；该发明授权一种电子束斑的自动对中方法是由邓德会;刘伟;赵峭;韩志;刘志裕;谢辰晨;王涵设计研发完成，并于2025-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种电子束斑的自动对中方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种电子束斑的自动对中方法，属于电子显微镜中电子束斑控制技术领域。通过电子束斑图像提取电子束斑前景；以电子束斑图像中1个像素对应的长度为单位长度，以目标参考中心为原点构建坐标系，并确定电子束斑前景质心坐标；计算电子束斑前景质心与原点间欧几里得距离；当欧几里得距离大于预设公差，执行以下调节步骤：S1采集当前偏转线圈的电流值，并计算偏转线圈的电流调节量；S2将调节量叠加至当前偏转线圈电流值；S3判断调节后的欧几里得距离是否小于或等于预设公差；若否，则重复S1至S3，直至欧几里得距离满足预设公差要求。通过逐步调节偏转线圈的电流值使电子束斑前景的质心与目标参考中心逐渐靠近，实现电子束斑的自动对中。

本发明授权一种电子束斑的自动对中方法在权利要求书中公布了：1.一种电子束斑的自动对中方法，其特征在于，包括： 使用探测器获取电子束斑图像； 从所述电子束斑图像中提取电子束斑前景； 以电子束斑图像中1个像素对应的长度为单位长度，以目标参考中心为原点构建坐标系，并确定电子束斑前景的质心坐标； 计算电子束斑前景的质心与所述原点间欧几里得距离； 当所述欧几里得距离小于等于预设公差，则判定电子束斑已对中，结束调节； 当所述欧几里得距离大于预设公差，执行以下调节步骤： S1、采集当前偏转线圈的电流值，并计算偏转线圈的电流调节量； S2、将所述调节量叠加至所述当前偏转线圈电流值； S3、判断调节后的欧几里得距离是否小于或等于所述预设公差； 若否，则重复S1至S3，直至所述欧几里得距离满足预设公差要求； 所述采集当前偏转线圈的电流值，包括： 采集第一偏转线圈电流值和第二偏转线圈电流值；所述第一偏转线与所述第二偏转线圈相互垂直； 所述偏转线圈电流调节量，包括： 其中，为第一偏转线圈电流值增加1单位所对应电子束斑质心移动的位移矢量；为第二偏转线圈电流值增加1单位所对应电子束斑质心移动的位移矢量；为目标参考中心坐标，为电子束斑前景的质心坐标；为第一偏转线圈电流值调节量，为第二偏转线圈电流值调节量。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院大连化学物理研究所，其通讯地址为：116023 辽宁省大连市沙河口区中山路457-41号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。