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龙图腾网获悉上海车仪田科技有限公司申请的专利半导体用光导管的故障诊断方法、系统、检测装置、计算机设备及介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121419609B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511961396.0，技术领域涉及：H10P74/20；该发明授权半导体用光导管的故障诊断方法、系统、检测装置、计算机设备及介质是由刘新阳;张黎明设计研发完成，并于2025-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本半导体用光导管的故障诊断方法、系统、检测装置、计算机设备及介质在说明书摘要公布了：本申请提供了一种半导体用光导管的故障诊断方法、系统、检测装置、计算机设备及介质，本申请联合解析第一检测数据和第二检测数据；根据解析结果生成相应的故障诊断结果及维护策略，使工程师能够区分不同故障的紧急状态，不仅可以提前发现光导管污染、机械松动和冷却效能下降等隐性风险，降低光导管断裂、过热失效带来的非计划停机概率，还能减少过度保养和盲目定期维护，实现对光导管的预测性维护和精细化管理，提升检测装置在半导体设备反应腔内长期运行的可靠性和可用性。

本发明授权半导体用光导管的故障诊断方法、系统、检测装置、计算机设备及介质在权利要求书中公布了：1.一种半导体用光导管的故障诊断方法，其特征在于，适用于检测装置，所述检测装置部分设置于半导体设备反应腔内，所述反应腔内设置有冷却管；所述方法包括: 获取第一检测数据和第二检测数据；其中，所述第一检测数据包括所述光导管前端观察窗的保护镜面的图像信息，所述第二检测数据包括晶圆表面的反射光谱数据、所述光导管的振动数据、所述反应腔内预设位置的温度数据中的至少一个；所述预设位置包括所述冷却管的进口位置、出口位置、以及所述光导管的本体位置； 分别解析所述第一检测数据和所述第二检测数据，得到第一故障信息和第二故障信息；其中，所述第一故障信息包括污染度指数，所述第二故障信息包括反射光强度变化率、振动变化率、冷却效能参数中的至少一个；根据所述第一故障信息和所述第二故障信息，生成故障诊断结果、以及基于所述故障诊断结果生成的维护策略，以使工程师依据于所述维护策略对所述光导管进行维护； 在所述第二故障信息包括冷却效能参数、所述冷却效能参数包括所述光导管的本体位置温度的情况下，此时，所述根据所述第一故障信息和所述第二故障信息，生成故障诊断结果，包括： 若所述光导管的本体位置温度的上升值超出第四预设阈值，则进一步计算当前本体位置温度对反射光强度造成的偏差修正量，并将所述故障诊断结果标记为污染物层增加热阻、影响所述光导管的散热； 其中，计算当前温度对反射光强度造成的偏差修正量，包括：建立污染物热阻模型，基于所述污染度指数与所述光导管本体位置温度的上升值，量化计算所述污染物层对所述光导管测温精度造成的偏差修正量； 基于所述故障诊断结果生成维护策略，包括：根据所述偏差修正量对晶圆表面温度的测量数值进行实时补偿运算，以得到校准后的晶圆表面温度值；标记并输出校准后的晶圆表面温度值。

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