北京科翰龙半导体装备科技有限公司王向阳获国家专利权
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龙图腾网获悉北京科翰龙半导体装备科技有限公司申请的专利一种晶圆边缘缺陷检测用自动定位与成像平台获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121443010B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511614590.1，技术领域涉及：H10P72/50；该发明授权一种晶圆边缘缺陷检测用自动定位与成像平台是由王向阳设计研发完成，并于2025-11-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆边缘缺陷检测用自动定位与成像平台在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体设备技术领域，具体地说，涉及一种晶圆边缘缺陷检测用自动定位与成像平台，包括用于定位晶圆的转动台，转动台包括转盘、套设于转盘外的拨动环、设置于转盘底面靠近中心处的旋转底座以及若干设置于转盘边缘处的定位器。该晶圆边缘缺陷检测用自动定位与成像平台，通过转动拨动环，驱动所有定位滑块同步径向内收，确保晶圆圆心与旋转底座中心自动重合，与此同时，定位滑块的移动触发配重块下落，通过凸杆与斜槽的配合，推动方框及弹性组件移动至晶圆边缘上方，并让弹性组件中的滚珠轻柔下压，而利用机械联动与重力势能，实现了小批量晶圆崩边的检测中的高精度、无损对心与稳定固定。
本发明授权一种晶圆边缘缺陷检测用自动定位与成像平台在权利要求书中公布了：1.一种晶圆边缘缺陷检测用自动定位与成像平台，其特征在于：包括用于定位晶圆的转动台，所述转动台包括转盘、套设于转盘外的拨动环、设置于转盘底面靠近中心处的旋转底座以及若干设置于转盘边缘处的定位器，所述拨动环顶面开设有若干弧形槽； 所述旋转底座包括旋转轴、焊接于旋转轴内壁的弧形凸块、滑动于旋转轴内的升降杆、一体成型于升降杆顶端圆盘外壁的外凸块以及顶杆，所述转盘转动后带动旋转轴同步旋转，当弧形凸块与外凸块抵触后，通过升降杆带动顶杆上移，将晶圆抬起后与若干定位器错位； 所述定位器包括定位滑块、滑动于定位滑块顶面凹槽内的方框、设置于方框内的弹性组件、一对设置于定位滑块内部的配重块、设置于配重块内壁的凸杆以及设置于定位滑块底面的锁紧螺钉，所述方框两侧外壁设有斜槽，拨动环转动时，锁紧螺钉沿弧形槽位移，定位滑块内缩后配重块下移，凸杆沿斜槽移动后，带动方框连同弹性组件移至晶圆边缘上方。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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