买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉华芯程(杭州)科技有限公司申请的专利基于曲线几何特征分析的光学邻近校正掩模验证方法、系统、程序产品及终端获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121477541B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610015076.4，技术领域涉及：G03F1/36；该发明授权基于曲线几何特征分析的光学邻近校正掩模验证方法、系统、程序产品及终端是由熊万能;周宇;冯国文设计研发完成，并于2026-01-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于曲线几何特征分析的光学邻近校正掩模验证方法、系统、程序产品及终端在说明书摘要公布了：本申请提供一种基于曲线几何特征分析的光学邻近校正掩模验证方法、系统、程序产品及终端，通过对光学邻近效应校正后的掩模图形数据进行预处理并转换为连续可导的参数化曲线，来量化分析曲线的几何特征，并通过采用基于曲率变化的自适应采样策略，计算几何特征值，并通过几何特征值针对性的输出质量评估报告。本发明通过掩模图形数据的几何特征的量化分析与全方位质量验证，既解决了传统掩模验证中缺陷识别不全面的问题，又平衡了掩模验证精度与计算效率，为光学邻近效应校正提供了明确且可落地的优化方向，帮助设计人员快速改进掩模图形质量，显著缩短迭代周期、降低研发成本。

本发明授权基于曲线几何特征分析的光学邻近校正掩模验证方法、系统、程序产品及终端在权利要求书中公布了：1.一种基于曲线几何特征分析的光学邻近校正掩模验证方法，其特征在于，包括： 接收光学邻近效应校正后的掩模图形数据，对所述掩模图形数据进行预处理，并将预处理后的所述掩模图形数据转换为参数化曲线，用于量化分析曲线的几何特征； 采用自适应采样策略对所述参数化曲线进行自适应采样，并计算几何特征值；所计算得到的几何特征值包括用于表征曲线光滑程度的曲率变化特征值和用于表征曲线局部几何复杂程度的局部曲率积分特征值； 其中，所述局部曲率积分特征值通过以下公式计算： ； 其中，LCI为所述局部曲率积分特征值，也是在分析窗口内的平均曲率的绝对值；Δs为所述分析窗口的长度；κs为曲率函数； 所述曲率变化特征值通过以下公式计算： ； 其中，C_rate为所述曲率变化特征值；κ为曲率；s为弧长； 根据所述曲率变化特征值和所述局部曲率积分特征值判断曲线是否合格，并依据判断结果输出质量评估报告； 当同时满足第一条件和第二条件时，所述曲线合格； 其中，第一条件被配置为各分析窗口内采样点的所述曲率变化特征值的最大值均小于等于预设的曲率变化特征阈值；第二条件被配置为各分析窗口的所述局部曲率积分特征值均小于等于预设的局部曲率积分特征阈值。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人华芯程(杭州)科技有限公司，其通讯地址为：311100 浙江省杭州市余杭区良渚街道网周路99号1幢22层2208室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。