买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉奥松半导体(重庆)有限公司申请的专利分体式质量流量控制器标定方法、系统及设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121477653B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610024390.9，技术领域涉及：G05B13/04；该发明授权分体式质量流量控制器标定方法、系统及设备是由陈新准;张宾;张洪;马鹏飞;陈创斌;姚承辛;黄志杰设计研发完成，并于2026-01-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本分体式质量流量控制器标定方法、系统及设备在说明书摘要公布了：本发明涉及流体控制技术领域，公开了一种分体式质量流量控制器标定方法、系统及设备。该方法通过分体式模块化设计，将控制单元、阀门单元、检测单元与流体通路单元通过可拆卸接口连接，解决了传统一体化结构标定维护困难的问题。采用温度差与压力数据建立流量映射关系模型，结合环境温度补偿系数进行动态修正，显著提升了检测精度。通过流量闭环与阀芯位移闭环协同控制，实现对阀门开度的精准调节，有效提高了流量控制的稳定性和动态响应性能。该系统具备结构灵活、标定精度高、环境适应性强的优点，适用于半导体、生物医药等高精度流量控制领域。

本发明授权分体式质量流量控制器标定方法、系统及设备在权利要求书中公布了：1.一种分体式质量流量控制器标定方法，其特征在于，包括以下步骤： S1：将分体设置的控制模块、阀门模块、检测模块和流体通路模块构成包括若干标定流量点的流体控制回路，在所述流体控制回路部署温度传感器，获取温度初始参数，关闭阀门模块使回路处于零流量状态，通过检测模块同步采集传感器数据，剔除异常值后取有效数据平均值，计算流体控制回路进液端与流体控制回路出液端的基准温度差值，将所述基准温度差值设定为零点基准； S2：基于所述零点基准，由控制模块驱动标准流量源输出若干标定流量点，在所述标定流量点稳态条件下，同步采集温度差信号及入口压力信号，基于所述温度差信号和入口压力信号，建立主路质量流量与温度差、入口压力之间的映射关系模型； S3：获取若干不同环境温度下所述映射关系模型中的参数变化，通过多元回归算法拟合得到环境温度补偿系数，构建融合所述环境温度补偿系数的质量流量补偿模型，根据标定数据建立流量设定值与控制信号之间的线性控制模型； S4：设定目标质量流量，调用所述线性控制模型与所述质量流量补偿模型计算初始控制参数；基于实时采集的温度差信号与入口压力信号，通过所述映射关系模型与所述质量流量补偿模型计算实时质量流量。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人奥松半导体(重庆)有限公司，其通讯地址为：401329 重庆市九龙坡区金凤镇凤笙路21号1幢；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。