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龙图腾网获悉天津吉兆源科技有限公司申请的专利一种半导体设备、脉冲射频电源及其控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121485646B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610023619.7，技术领域涉及：H03K3/53；该发明授权一种半导体设备、脉冲射频电源及其控制方法是由李树瑜;田思雨;温世波设计研发完成，并于2026-01-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体设备、脉冲射频电源及其控制方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种半导体设备、脉冲射频电源及其控制方法。脉冲射频电源包括信号发生模块、调节模块、功率放大模块、定向耦合模块、功率检测模块和控制模块；调节模块用于根据信号发生模块输出的基准射频信号和控制模块输出的第一偏压值，输出调整射频信号至功率放大模块的射频输入端；功率检测模块用于接收定向耦合模块输出的正向脉冲功率信号，还用于将正向脉冲功率信号转换为第一方波信号，并滤除第一方波信号中的交流信号以生成第一直流信号；控制模块用于根据第一直流信号向功率放大模块发送第一偏压值。本发明提供了一种半导体设备、脉冲射频电源及其控制方法，结构简单，成本低，且可靠性高。

本发明授权一种半导体设备、脉冲射频电源及其控制方法在权利要求书中公布了：1.一种脉冲射频电源，其特征在于，包括信号发生模块、调节模块、功率放大模块、定向耦合模块、功率检测模块和控制模块； 所述信号发生模块、所述调节模块、所述功率放大模块以及所述定向耦合模块依次电连接；所述调节模块用于根据所述信号发生模块输出的基准射频信号和所述控制模块输出的第一偏压值，输出调整射频信号至所述功率放大模块的射频输入端； 所述功率检测模块用于接收所述定向耦合模块输出的正向脉冲功率信号，还用于将所述正向脉冲功率信号转换为第一方波信号，并滤除所述第一方波信号中的交流信号以生成第一直流信号；其中，所述第一直流信号表征所述正向脉冲功率信号的平均功率； 所述控制模块用于根据所述第一直流信号向所述功率放大模块发送第一偏压值； 所述功率检测模块还用于接收所述定向耦合模块输出的反向脉冲功率信号，还用于将所述反向脉冲功率信号转换为第二方波信号，并滤除所述第二方波信号中的交流信号以生成第二直流信号；其中，所述第二直流信号表征所述反向脉冲功率信号的平均功率； 所述控制模块还用于根据所述第二直流信号控制所述功率放大模块的供电端的供电电压； 所述功率检测模块包括正向功率检测子模块和反向功率检测子模块； 所述正向功率检测子模块包括第一检波单元和第一滤波单元； 所述第一检波单元用于将所述正向脉冲功率信号转换为第一方波信号； 所述第一滤波单元用于滤除所述第一方波信号中的交流信号以生成所述第一直流信号，并将所述第一直流信号发送至所述控制模块； 所述反向功率检测子模块包括第二检波单元和第二滤波单元； 所述第二检波单元用于将所述反向脉冲功率信号转换为所述第二方波信号； 所述第二滤波单元用于滤除所述第二方波信号中的交流信号以生成所述第二直流信号，并将所述第二直流信号发送至所述控制模块。

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