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上海谙邦半导体设备有限公司陈刚获国家专利权

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龙图腾网获悉上海谙邦半导体设备有限公司申请的专利一种高度可调式顶针构件及晶圆处理设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121752030B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202610226482.5,技术领域涉及:H10P72/76;该发明授权一种高度可调式顶针构件及晶圆处理设备是由陈刚;方文强;张骞;王培栋;方猛;罗来良设计研发完成,并于2026-02-26向国家知识产权局提交的专利申请。

一种高度可调式顶针构件及晶圆处理设备在说明书摘要公布了:本发明涉及晶圆处理设备技术领域,尤其涉及一种高度可调式顶针构件及晶圆处理设备,包括固定支架、螺纹杆、顶针本体、顶针套体和调节件;顶针套体设有自顶部向底部的方向凹陷的安装槽;调节件转动设置于安装槽的开口端;顶针本体沿轴向活动设于安装槽内,顶针本体的顶部贯穿调节件且与调节件通过螺纹副连接;固定支架设于工艺腔体的内壁上,固定支架上设有沿工艺腔体的轴向贯通的螺纹孔;螺纹杆固定设于顶针套体的底部,并螺纹插接在螺纹孔内;本发明通过顶针套体、固定支架与螺纹杆的配合,避免了旋紧过程中旋拧力直接作用在顶针本体上,显著降低了脆性材质的顶针本体发生断裂的风险,从而提升了顶针组件工作的可靠性与使用寿命。

本发明授权一种高度可调式顶针构件及晶圆处理设备在权利要求书中公布了:1.一种高度可调式顶针构件,其特征在于,包括固定支架、螺纹杆、顶针本体、顶针套体和调节件; 所述顶针套体设有自顶部向底部的方向凹陷的安装槽;所述调节件转动设置于所述安装槽的开口端;所述顶针本体沿轴向活动设于所述安装槽内,所述顶针本体的顶部贯穿所述调节件且与所述调节件通过螺纹副连接,以在旋拧所述调节件时,使所述顶针本体相对所述顶针套体做升降运动,以调节所述顶针本体的高度; 所述固定支架设于工艺腔体的内壁上,所述固定支架上设有沿所述工艺腔体的轴向贯通的螺纹孔; 所述螺纹杆固定设于所述顶针套体的底部,并螺纹插接在所述螺纹孔内,以将所述顶针本体固定在所述固定支架上。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人上海谙邦半导体设备有限公司,其通讯地址为:201304 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区洲德路1588号2幢2座;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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