苏州矽视科技有限公司魏伟获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州矽视科技有限公司申请的专利一种硅片平台定位装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224137612U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420042085.9，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种硅片平台定位装置是由魏伟;隋建滋;于陈陈;王雨;尹鹏翔;关祥宇设计研发完成，并于2024-01-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅片平台定位装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及硅片平台定位领域，具体涉及一种硅片平台定位装置，包括：底板、调节装置、顶板和硅片平台；多个所述调节装置呈圆周阵列固定于顶板与底板之间，用于调节顶板高度，所述顶板上设置有用于放置硅片的硅片平台；所述调节装置包括基座，所述基座上方设置有调节座，所述基座上设置有弹簧拉杆，所述弹簧拉杆的一端设置于调节座内，所述弹簧拉杆外围设置有弹簧，用于将调节座拉向基座，所述调节座上设置有调节螺钉，用于对顶板高度进行粗调，所述基座内还设有压电陶瓷电机，所述压电陶瓷电机输出端与调节螺钉底端连接，用于对顶板高度进行细调，本实用新型有利于提高定位精度，减少调节工作量。
本实用新型一种硅片平台定位装置在权利要求书中公布了：1.一种硅片平台定位装置，其特征在于，包括：底板、调节装置、顶板和硅片平台；多个所述调节装置呈圆周阵列固定于顶板与底板之间，用于调节顶板高度，所述顶板上设置有用于放置硅片的硅片平台； 所述调节装置包括基座，所述基座上方设置有调节座，所述基座上设置有弹簧拉杆，所述弹簧拉杆的一端设置于调节座内，所述弹簧拉杆外围设置有弹簧，用于将调节座拉向基座，所述调节座上设置有调节螺钉，用于对顶板高度进行粗调，所述基座内还设有压电陶瓷电机，所述压电陶瓷电机输出端与调节螺钉底端连接，用于对顶板高度进行细调。
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