江西兆驰半导体有限公司熊辉云获国家专利权
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龙图腾网获悉江西兆驰半导体有限公司申请的专利一种曝光机平行补正装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224137613U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520599905.9，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种曝光机平行补正装置是由熊辉云;段良飞;赵晓明;董国庆;文国昇;金从龙设计研发完成，并于2025-04-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种曝光机平行补正装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种曝光机平行补正装置，包括掩模组件、设于所述掩模组件上的补正组件、以及移动组件；补正组件，包括气缸、设于所述气缸上的补正板、以及设于所述补正板上的若干补正球；所述气缸控制所述补正板进出于所述移动组件和所述掩模组件之间，所述补正球的一端顶靠于所述掩模组件靠近所述补正板的一侧，所述移动组件通过扭力控制带动片源朝靠近所述掩模组件的方向移动，以使所述片源抵靠若干所述补正球。本实用新型通过移动组件带动片源朝向补正球移动，扭力控制的移动组件保证均匀分布的补正球分别抵靠在光罩和片源上，进而使得光罩和片源平行设置，缩短对位时间，提升产能，提升高片源曝光效果，降低产品返工率。
本实用新型一种曝光机平行补正装置在权利要求书中公布了：1.一种曝光机平行补正装置，其特征在于，所述曝光机平行补正装置包括掩模组件、设于所述掩模组件上的补正组件、以及移动组件； 补正组件，包括气缸、设于所述气缸上的补正板、以及设于所述补正板上的若干补正球； 其中，所述气缸控制所述补正板进出于所述移动组件和所述掩模组件之间，所述补正球的一端顶靠于所述掩模组件靠近所述补正板的一侧，所述移动组件通过扭力控制带动片源朝靠近所述掩模组件的方向移动，以使所述片源抵靠若干所述补正球。
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