泰科天润半导体科技(北京)有限公司胡臻获国家专利权
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龙图腾网获悉泰科天润半导体科技(北京)有限公司申请的专利一种非对称高可靠沟槽栅碳化硅VDMOS获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224139373U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202521112361.5,技术领域涉及:H10D30/66;该实用新型一种非对称高可靠沟槽栅碳化硅VDMOS是由胡臻;何佳;陈彤;周海设计研发完成,并于2025-06-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种非对称高可靠沟槽栅碳化硅VDMOS在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种非对称高可靠沟槽栅碳化硅VDMOS,包括:漂移层连接至碳化硅衬底;P型阱区连接至漂移层;分流区连接至漂移层,分流区位于第一凹槽的左下角,P型基区连接至分流区,位于第一凹槽左侧;P型源区连接至P型阱区;N型源区分别连接P型阱区、P型基区及P型源区;肖特基金属层连接至漂移层、P型阱区及N型源区;绝缘介质层外侧面分别连接P型源区、N型源区、P型阱区、P型基区以及分流区;绝缘介质层内设有沟槽;栅极金属层设于沟槽内;源极金属层分别连接P型源区、N型源区以及肖特基金属层;漏极金属层连接至碳化硅衬底,单侧保证器件的导通后特性,单侧保证器件体二极管续流特性,提高了器件的可靠性。
本实用新型一种非对称高可靠沟槽栅碳化硅VDMOS在权利要求书中公布了:1.一种非对称高可靠沟槽栅碳化硅VDMOS,其特征在于:包括: 碳化硅衬底, 漂移层,所述漂移层下侧面连接至所述碳化硅衬底上侧面; P型阱区,所述P型阱区下侧面连接至所述漂移层上侧面;所述P型阱区内设有第一凹槽、分流区以及P型基区,所述分流区下侧面连接至所述漂移层上侧面,所述分流区位于所述第一凹槽的左下角,所述P型基区下侧面连接至所述分流区,位于所述第一凹槽左侧; P型源区,所述P型源区下侧面连接至P型阱区上侧面; N型源区,所述N型源区下侧面分别连接所述P型阱区以及P型基区,所述N型源区与所述P型源区连接; 肖特基金属层,所述肖特基金属层下侧面连接至所述漂移层,所述肖特基金属层一侧面连接至所述P型阱区一侧面以及N型源区一侧面; 绝缘介质层,所述绝缘介质层下部设于所述第一凹槽内,所述绝缘介质层外侧面分别连接所述P型源区、N型源区、P型阱区、P型基区以及分流区;所述绝缘介质层内设有沟槽; 栅极金属层,所述栅极金属层设于所述沟槽内; 源极金属层,所述源极金属层分别连接所述P型源区、N型源区以及肖特基金属层; 以及,漏极金属层,所述漏极金属层连接至所述碳化硅衬底下侧面。
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