江苏西励科技有限公司丁旭剑获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏西励科技有限公司申请的专利一种用于固定翘曲晶圆的真空吸盘获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224139449U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202521037034.8,技术领域涉及:H10P72/78;该实用新型一种用于固定翘曲晶圆的真空吸盘是由丁旭剑设计研发完成,并于2025-05-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于固定翘曲晶圆的真空吸盘在说明书摘要公布了:本实用新型涉及真空吸盘技术领域,公开了一种用于固定翘曲晶圆的真空吸盘,包括:安装台面,用于安装吸嘴部件;吸嘴组件,安装于安装台面的表面,用于吸附翘曲晶圆;其中,吸嘴组件包括设置于安装台面表面外围以及安装台面表面中心的若干吸嘴部件,所述安装台面的外侧设置有两个气管接头,分别连接安装台面表面外围的若干吸嘴部件以及安装台面表面中心的若干吸嘴部件。本实用新型通过设置外围与中心两套独立的吸附机构,可针对晶圆边缘、中心不同翘曲程度独立调节吸附力,避免单一真空源压力失衡导致的吸附失效,使用较低的抽气速度、较低的真空度即可达到吸附固定大翘曲晶圆的目的,使用效果极佳。
本实用新型一种用于固定翘曲晶圆的真空吸盘在权利要求书中公布了:1.一种用于固定翘曲晶圆的真空吸盘,其特征在于:包括: 安装台面,用于安装吸嘴部件; 吸嘴组件,安装于安装台面的表面,用于吸附翘曲晶圆; 其中,吸嘴组件包括设置于安装台面表面外围以及安装台面表面中心的若干吸嘴部件,所述安装台面的外侧设置有两个气管接头,分别连接安装台面表面外围的若干吸嘴部件以及安装台面表面中心的若干吸嘴部件。
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