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深圳市重投天科半导体有限公司;北京天科合达半导体股份有限公司;江苏天科合达半导体有限公司杨占伟获国家专利权

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龙图腾网获悉深圳市重投天科半导体有限公司;北京天科合达半导体股份有限公司;江苏天科合达半导体有限公司申请的专利一种晶片清洗设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224165085U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202521191162.8,技术领域涉及:H10P72/00;该实用新型一种晶片清洗设备是由杨占伟;陈绍煊;刘婉珍;陈志荣;赵宁;王波;彭同华;彭勇;曾江;杨建设计研发完成,并于2025-06-11向国家知识产权局提交的专利申请。

一种晶片清洗设备在说明书摘要公布了:本申请公开了一种晶片清洗设备,通过设备本体清洗晶片,在设备本体内部设置有用于承载晶片的卡塞,以使得晶片能够在设备本体内部进行清洗;设备本体内部设置有固定组件,且固定组件位于卡塞的下方,固定组件内部转动连接有辅助清洗组件,辅助清洗组件用于与晶片的边缘接触,且通过驱动组件驱动辅助清洗组件旋转,这样,在晶片清洗的过程中,通过辅助清洗组件旋转,带动晶片在卡塞内同步旋转,减少由于晶片与卡塞之间接触产生的清洁盲区,使得对晶片的清洗过程更加全面,提高晶片的清洁度,以提高晶片的性能及可靠性。

本实用新型一种晶片清洗设备在权利要求书中公布了:1.一种晶片清洗设备,其特征在于,包括: 设备本体1,所述设备本体1用于清洗晶片7; 卡塞6,所述卡塞6设置在所述设备本体1内部,所述卡塞6用于承载所述晶片7; 固定组件2,所述固定组件2设置于所述设备本体1的内部,且所述固定组件2位于所述卡塞6的下方; 辅助清洗组件3,所述辅助清洗组件3转动连接于所述固定组件2的内部,且所述辅助清洗组件3用于与所述晶片7的边缘接触; 驱动组件4,所述驱动组件4与所述辅助清洗组件3传动连接,所述驱动组件4驱动所述辅助清洗组件3旋转。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人深圳市重投天科半导体有限公司;北京天科合达半导体股份有限公司;江苏天科合达半导体有限公司,其通讯地址为:518100 广东省深圳市宝安区石岩街道石龙社区石奔路6号深圳市重投天科半导体有限公司1栋办公楼1层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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