福吉米株式会社古田慎二获国家专利权
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龙图腾网获悉福吉米株式会社申请的专利含研磨用添加剂液体的过滤方法、含研磨用添加剂液体、研磨用组合物、研磨用组合物的制造方法及过滤器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114269456B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080056293.9，技术领域涉及：B01D61/18；该发明授权含研磨用添加剂液体的过滤方法、含研磨用添加剂液体、研磨用组合物、研磨用组合物的制造方法及过滤器是由古田慎二;早川隆志;芦高圭史;三轮直也;土屋公亮;丹所久典;秋月丽子设计研发完成，并于2020-07-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本含研磨用添加剂液体的过滤方法、含研磨用添加剂液体、研磨用组合物、研磨用组合物的制造方法及过滤器在说明书摘要公布了：提供：一种含添加剂液体的过滤方法，其能够实现维持实用的过滤器寿命并显示优异的缺陷减少能力的研磨用组合物。通过本发明提供的含研磨用添加剂液体的过滤方法包括利用满足以下条件1及2的过滤器对上述含研磨用添加剂液体进行过滤的工序。1用孔径分布测定仪测定的平均孔径P为0.15μm以下。2利用SEM观察测定的入口侧平均孔径Sin与出口侧平均孔径Sout的比即孔径梯度SinSout为3以下。
本发明授权含研磨用添加剂液体的过滤方法、含研磨用添加剂液体、研磨用组合物、研磨用组合物的制造方法及过滤器在权利要求书中公布了：1.一种含有硅晶圆研磨用添加剂的液体的过滤方法，其包括利用过滤器对所述液体进行过滤的工序， 所述硅晶圆研磨用添加剂包含水溶性高分子， 所述液体实质上不包含磨粒， 所述过滤器具有以下的特性： 用孔径分布测定仪测定的平均孔径P为0.15μm以下；及 利用SEM观察测定的入口侧平均孔径Sin与出口侧平均孔径Sout的比即孔径梯度SinSout为1.11以上且2.5以下， 所述液体为经过1次或2次以上预过滤的滤液， 所述预过滤的第1阶段的过滤精度为0.05μm以上且0.25μm以下， 所述水溶性高分子的重均分子量为0.4×104以上。
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