广东长信精密设备有限公司罗家伟获国家专利权
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龙图腾网获悉广东长信精密设备有限公司申请的专利晶圆甩干设备及晶圆生产系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224178557U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520769112.7，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型晶圆甩干设备及晶圆生产系统是由罗家伟;陈子秋;邹展;张庆;吴伟平设计研发完成，并于2025-04-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆甩干设备及晶圆生产系统在说明书摘要公布了：本申请公开一种晶圆甩干设备，包括：机台及设置于机台的水槽、定位机构、第一搬运机构、甩干机构及第二搬运机构。定位机构用于对晶圆进行定位；第一搬运机构用于将水槽内的晶圆搬运至定位机构；甩干机构用于甩干晶圆；第二搬运机构用于将定位机构上的晶圆搬运至甩干机构。晶圆先通过第一搬运机构搬运至定位机构，定位机构对晶圆进行定位，然后再由第二搬运机构将定位完成的晶圆搬运至甩干机构进行甩干。在甩干之前先对晶圆再次定位，能够提高第二搬运机构的抓取精度以及放入甩干机构中的放置精度，从而可以有效地避免甩干过程中晶圆发生晃动，进而避免出现飞片和碎片的情况，提高晶圆生产的良率。本申请还公开一种晶圆生产系统。
本实用新型晶圆甩干设备及晶圆生产系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆甩干设备，其特征在于，包括： 机台； 水槽，设置于所述机台； 定位机构，设置于所述机台，用于对晶圆进行定位； 第一搬运机构，设置于所述机台，且所述第一搬运机构用于将所述水槽内的晶圆搬运至所述定位机构； 甩干机构，设置于所述机台，用于甩干晶圆； 第二搬运机构，设置于所述机台，且所述第二搬运机构用于将所述定位机构上的晶圆搬运至所述甩干机构。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人广东长信精密设备有限公司，其通讯地址为：511517 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号设备间；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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