上海良薇机电工程有限公司吴昌鼎获国家专利权
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龙图腾网获悉上海良薇机电工程有限公司申请的专利一种超声鼓泡装置及半导体工艺设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224178567U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521172261.1，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种超声鼓泡装置及半导体工艺设备是由吴昌鼎;纪雪峰设计研发完成，并于2025-06-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种超声鼓泡装置及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种超声鼓泡装置及半导体工艺设备，超声鼓泡装置包括筒体件、进气管件、出气管件、至少一第一超声件、至少一第二超声件和至少一第三超声件。其优点在于，通过在筒体件上设置第一超声件、第二超声件、第三超声件，一方面超声的引入相比无超声作用，能减小气泡直径，降低气泡上升速度；另一方面多频超声场比单频超声场优势在于，随着组合的超声频率之和越大，气泡直径越小，气泡速度也越小。
本实用新型一种超声鼓泡装置及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种超声鼓泡装置，其特征在于，包括： 筒体件，所述筒体件具有密闭的腔体； 进气管件，所述进气管件自所述筒体件的底部伸入所述腔体，并与气源连通，用于供气体流入； 出气管件，所述出气管件自所述筒体件的顶部伸入所述腔体，并与下游工艺装置连通，用于供气体流出； 至少一第一超声件，所述第一超声件设置于所述筒体件； 至少一第二超声件，所述第二超声件设置于所述筒体件，并位于所述第一超声件的上侧； 至少一第三超声件，所述第三超声件设置于所述筒体件，并位于所述第二超声件的上侧； 所述第一超声件、所述第二超声件、所述第三超声件的联合作用在所述腔体的内部形成超声混响场以使气泡直径减小并降低气泡上升速度。
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