浙江创芯集成电路有限公司陈聪获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江创芯集成电路有限公司申请的专利晶圆膜再利用系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224178568U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521182747.3，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型晶圆膜再利用系统是由陈聪;郭东谕;李平;宋喆宏设计研发完成，并于2025-06-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆膜再利用系统在说明书摘要公布了：本公开实施例提供了一种晶圆膜再利用系统，包括：贴膜台；晶圆载台，设置于所述贴膜台中，用于承载晶圆；成对的膜筒，设置于所述贴膜台的两侧，用于供给所述晶圆膜以及回收剩余的晶圆膜；至少两个位置检测传感器，第一位置检测传感器的检测方向朝向所述晶圆载台和供给膜筒之间的晶圆膜，第二位置检测传感器的检测方向朝向所述晶圆载台和回收膜筒之间的晶圆膜；控制单元与所述膜筒和所述位置检测传感器耦接，响应于第一位置检测传感器检测到所述晶圆膜上的粘合膜后，控制至少一个膜筒转动，响应于所述第二位置检测传感器检测到同一粘合膜，控制至少一个膜筒停止。采用上述技术方案，可以提高晶圆膜利用率。
本实用新型晶圆膜再利用系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆膜再利用系统，其特征在于，包括： 贴膜台； 晶圆载台，设置于所述贴膜台中，用于承载晶圆； 成对的膜筒，设置于所述贴膜台的两侧，用于供给所述晶圆膜以及回收剩余的晶圆膜； 至少两个位置检测传感器，第一位置检测传感器的检测方向朝向所述晶圆载台和供给膜筒之间的晶圆膜，第二位置检测传感器的检测方向朝向所述晶圆载台和回收膜筒之间的晶圆膜； 控制单元与所述膜筒和所述位置检测传感器耦接，响应于第一位置检测传感器检测到所述晶圆膜上的粘合膜后，控制至少一个膜筒转动，响应于所述第二位置检测传感器检测到同一粘合膜，控制至少一个膜筒停止。
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