东京毅力科创株式会社松本航获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利输送要配置在基板处理室内的构件的装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116730018B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310173642.0，技术领域涉及：B65G51/02；该发明授权输送要配置在基板处理室内的构件的装置是由松本航设计研发完成，并于2023-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本输送要配置在基板处理室内的构件的装置在说明书摘要公布了：本发明涉及输送要配置在基板处理室内的构件的装置、基板处理系统以及输送所述构件的方法。提供将要配置在基板处理室内的构件向预先设定的配置位置输送的技术。该装置包括用于相对于使彼此相邻地设置的基板输送室和基板处理室连通的开口部装卸自如地封堵开口部的阀体，该装置以在由阀体封堵开口部时自阀体朝向基板处理室内延伸的方式设置构件保持部。构件保持部构成为在由阀体封堵开口部时将所述构件输送至基板处理室内的预先设定的配置位置。而且，该装置包括使从开口部拆下的阀体在基板输送室内移动的移动机构。
本发明授权输送要配置在基板处理室内的构件的装置在权利要求书中公布了：1.一种输送要配置在基板处理室内的构件的装置，其是在彼此相邻地设置的基板输送室和所述基板处理室之间输送要配置在所述基板处理室内的构件的装置，其中， 该输送要配置在基板处理室内的构件的装置包括： 阀体，其构成为相对于使所述基板输送室和基板处理室连通的开口部装卸自如，该阀体用于封堵所述开口部； 构件保持部，其以在由所述阀体封堵所述开口部时自该阀体朝向所述基板处理室内延伸的方式设置，该构件保持部用于将所述构件输送至该基板处理室内的预先设定的配置位置；以及 移动机构，其使从所述开口部拆下的所述阀体在所述基板输送室内移动， 其中，所述移动机构包括： 所述基板输送室的地面部，其设有第1磁体；以及 移动体，其安装有所述阀体，并且设有在与所述第1磁体之间作用有反作用力的第2磁体，该移动体构成为能够通过使用了所述反作用力的磁悬浮而在所述基板输送室内移动， 其中，所述移动体构成为相对于所述阀体装卸自如，能够从封堵着所述开口部的状态的所述阀体拆下。
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