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湖南麓星光电科技有限公司刘永利获国家专利权

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龙图腾网获悉湖南麓星光电科技有限公司申请的专利一种实时监测镜片面形的镀膜装置及镀膜方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117248178B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311256989.8,技术领域涉及:C23C14/10;该发明授权一种实时监测镜片面形的镀膜装置及镀膜方法是由刘永利;姜海;范鹏;刘俞含设计研发完成,并于2023-09-27向国家知识产权局提交的专利申请。

一种实时监测镜片面形的镀膜装置及镀膜方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种实时监测镜片面形的镀膜装置及镀膜方法,其中,实时监测镜片面形的镀膜装置包括机壳,机壳内设有用于放置镀膜基片的工件盘,工件盘上均匀放置有镀膜基片以及陪镀片,还包括光透组件、光探测设备、轰击组件、数据采集分析设备和修正板,光透组件包括激光发射器、准直透镜、分光镜和平晶。从而,在镀膜过程中通过对陪镀片上产生的干涉光信息实现实时监测镀膜后的镜片膜层的光学均匀性、表面平整度的参数。同时,依据数据采集分析设备获取到的镜片膜层光学均匀性、表面平整度的参数在镀膜过程中对修正板进行目标位置的调节及调节轰击组件的沉积速率,在镀膜过程中及时做出相应调整,使镀膜后的镜片膜层表面均匀平整。

本发明授权一种实时监测镜片面形的镀膜装置及镀膜方法在权利要求书中公布了:1.一种实时监测镜片面形的镀膜装置,包括机壳,所述机壳内设置有用于放置镀膜基片的工件盘,所述工件盘上均匀放置有所述镀膜基片以及将任一所述镀膜基片作为监测的陪镀片,其特征在于,还包括: 光透组件,与所述陪镀片光信号连接; 光探测设备,设置在所述机壳的透明窗口上,并且与光透单元光信号连接; 轰击组件,设置在所述机壳内; 数据采集分析设备,设置在所述机壳的外部,并且同时与所述光探测设备以及所述轰击组件通信连接; 修正板,穿过所述机壳并且与所述机壳相连接; 其中,所述光透组件包括: 激光发射器,设置在所述机壳内; 准直透镜,设置在所述机壳内,并且与所述激光发射器光信号连接; 分光镜,设置在所述机壳内,并且与所述准直透镜光信号连接; 平晶,设置在所述机壳内,并且分别与所述分光镜以及所述陪镀片光信号连接; 所述准直透镜、所述分光镜和所述平晶以及所述陪镀片之间的光信号组成第一光信号路径; 所述陪镀片、所述平晶和所述分光镜以及所述光探测设备之间的光信号组成第二光信号路径; 来自陪镀片薄膜表面的光与平晶平面之间反射的光线在陪镀片和平晶之间发生干涉产生干涉光,光探测设备将该干涉光接收后形成干涉图案信息并导入。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人湖南麓星光电科技有限公司,其通讯地址为:410004 湖南省长沙市天心区新岭路62号湖南生态医博园(天心软件产业园)A区A-1栋101;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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