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龙图腾网获悉浙江大学申请的专利一种基于超构表面的极紫外波段半波片及四分之一波片器件的设计方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120010116B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510366058.6，技术领域涉及：G02B27/00；该发明授权一种基于超构表面的极紫外波段半波片及四分之一波片器件的设计方法是由熊波;李奕含;谢旻均;马蔚设计研发完成，并于2025-03-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于超构表面的极紫外波段半波片及四分之一波片器件的设计方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于超构表面的极紫外波段半波片及四分之一波片器件的设计方法，包括：设计超表面的结构；计算超表面中纳米孔单元在不同偏振自由空间输入光源下的共振相位响应分布及透过率分布；根据半波片与四分之一波片的功能需求，分别设定π和的相位差条件；结合共振相位响应分布及透过率分布数据通过算法筛选索引满足相位条件的纳米孔长、宽几何参数，综合选择透射率较高的结构，进行周期排布，完成超表面波片器件设计。本发明能够解决极紫外波段材料折射率骤降导致的相位调控失效及传统波片体积大、波段受限等问题，并提供一种新的超表面结构，通过氮化硅和钼及贯穿其中的纳米孔结构实现对极紫外波段光源的偏振调制。

本发明授权一种基于超构表面的极紫外波段半波片及四分之一波片器件的设计方法在权利要求书中公布了：1.一种基于超构表面的极紫外波段半波片及四分之一波片器件的设计方法，其特征在于，包括以下步骤： 1、设计超表面的结构； 所述超表面的结构包括： 氮化硅衬底、设置在所述氮化硅衬底上的钼金属层，以及贯穿所述氮化硅衬底和钼金属层的纳米矩形孔阵列； 所述的纳米矩形孔阵列包含若干具有相同深度及孔径尺寸的矩形孔，所述矩形孔在平面内进行周期性排布； 2、计算超表面的结构中纳米孔单元在目标波长下和不同偏振自由空间输入光源下的共振相位响应分布及透过率分布； 3、根据半波片与四分之一波片的不同功能的相位需求，分别确定半波片的纳米孔单元对应的相位差条件以及四分之一波片的纳米孔单元对应的相位差条件； 4、根据步骤2得到的共振相位响应分布及透过率分布数据，以及步骤3得到的半波片的纳米孔单元对应的相位差条件，利用算法筛选索引满足半波片所需条件的矩形孔的结构参数，将纳米孔单元进行周期性排布，完成极紫外波段半波片器件的设计； 根据步骤2得到的共振相位响应分布及透过率分布数据，以及步骤3得到的四分之一波片的纳米孔单元对应的相位差条件，利用算法筛选索引满足相应四分之一波片所需条件的矩形孔的结构参数，将纳米孔单元进行周期性排布，完成极紫外波段四分之一波片器件设计。

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