中国科学院长春光学精密机械与物理研究所唐瓦获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请的专利孔径可调的超音速喷嘴、气体团簇离子源及抛光系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121551168B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610100985.8，技术领域涉及：B05B1/00；该发明授权孔径可调的超音速喷嘴、气体团簇离子源及抛光系统是由唐瓦;季鹏;胡海翔;薛栋林;张学军设计研发完成，并于2026-01-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本孔径可调的超音速喷嘴、气体团簇离子源及抛光系统在说明书摘要公布了：本申请涉及超音速喷嘴技术领域，本申请提供一种孔径可调的超音速喷嘴，包括：压缩段、喉部段和扩张段依次连通构成的喷嘴流道；所述喉部段由中心开孔的弹性金属膜片形成，所述弹性金属膜片的中心孔构成所述喷嘴流道的最小流通截面；环绕所述弹性金属膜片外周设置有环形致动器，所述环形致动器被配置为在激励状态下产生沿所述中心孔径向的作用力，使所述弹性金属膜片发生弹性变形，从而连续调节所述中心孔的孔径大小。本申请采用环形致动器实现超音速喷嘴喉部孔径在预设范围内的高精度、线性、无级调节，从而动态调控气体团簇的质量数及其分布。
本发明授权孔径可调的超音速喷嘴、气体团簇离子源及抛光系统在权利要求书中公布了：1.一种孔径可调的超音速喷嘴，其特征在于，包括：压缩段、喉部段和扩张段，所述压缩段、喉部段和扩张段依次连通形成喷嘴流道；其中，所述喉部段包括： 弹性金属膜片，所述弹性金属膜片具有中心孔，所述中心孔构成所述喷嘴流道的最小流通截面； 环形致动器，所述环形致动器环绕所述弹性金属膜片外周设置，所述环形致动器被配置为在激励状态下产生沿所述中心孔径向的作用力，使所述弹性金属膜片发生弹性变形，从而连续调节所述中心孔的孔径大小； 所述超音速喷嘴用于气体团簇离子源，通过调节所述中心孔的孔径以控制所生成气体团簇的平均质量数，进而优化气体团簇离子束在待加工材料表面超光滑抛光工艺中的溅射均匀性与表面粗糙度。
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