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龙图腾网获悉北京市天润中电高压电子有限公司申请的专利一种在细长管内激发均匀等离子体的镀膜设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121555991B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610091710.2，技术领域涉及：C23C16/04；该发明授权一种在细长管内激发均匀等离子体的镀膜设备是由王诗雪;梁奇;汤磊设计研发完成，并于2026-01-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种在细长管内激发均匀等离子体的镀膜设备在说明书摘要公布了：本发明涉及镀膜技术领域，具体涉及一种在细长管内激发均匀等离子体的镀膜设备，包括机架、石英舟、推送装置、输气装置；机架上固定有连接筒；连接筒下端设有输送管；输气装置包括稀释组件和混合组件；稀释组件用于使载气分别将前驱体气体和反应气体单独稀释，混合组件用于将单独稀释后的前驱体气体和反应气体均匀混合后输入输送管。实现载气通过稀释组件对前驱体气体和反应气体分别进行初级稀释，使得三种气体在稀释组件处只有稀释效果，避免了前驱体气体与反应气体长时间接触而产生副产物颗粒；再通过混合组件使分别稀释后的前驱体气体和反应气体快速均匀混合，以保证后续等离子分布的均匀性。

本发明授权一种在细长管内激发均匀等离子体的镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种在细长管内激发均匀等离子体的镀膜设备，其特征在于：包括： 机架，上下设置，下端设有反应炉；反应炉内置有射频等离子体发生器；反应炉外侧壁上设有加热模块；机架上固定有连接筒；连接筒轴线上下设置地设在反应炉上方；连接筒下端设有输送管；输送管轴线和连接筒轴线平行；输送管下端伸入反应炉内；输送管上端固定连接在连接筒上； 石英舟，设在输送管内；石英舟上设有轴线竖直设置的容纳孔；容纳孔为通孔；连接筒内设有更换装置；更换装置用于在保持输送管内真空状态下更换石英舟； 输气装置，包括输气筒、稀释组件和混合组件；输气筒和输送管同轴地固定连接在连接筒上端；输气筒和输送管通过连接筒连通；稀释组件和混合组件均处于输气筒内，且混合组件处于稀释组件下方；稀释组件用于使载气分别将前驱体气体和反应气体单独稀释，混合组件用于将单独稀释上的前驱体气体和反应气体均匀混合后输入输送管； 推送装置，用于推动石英舟在输送管内移动至反应炉内； 稀释组件包括主隔板、副隔板、第一板、第二板； 主隔板和副隔板均设在输气筒上段内；主隔板沿输气筒径向固定在输气筒内壁上；主隔板将输气筒上段分隔为互不导通的两个输入腔；副隔板沿输气筒径向固定在输气筒内壁上；副隔板和主隔板呈十字状固定连接；副隔板将每个输入腔均分隔为载气腔和配合腔；两个输入腔的载气腔均通入载气；一个输入腔的配合腔通入前驱体气体，另一个输入腔的配合腔通入反应气体； 第一板设在主隔板下端；第一板靠近输气筒内壁的边缘和输气筒内壁固定连接；第一板上端和主隔板固定连接；第一板下方设有分配盘；分配盘同轴地固定在输气筒内；分配盘上端面上固定有竖条；第一板下端和竖条固定连接； 第一板和分配盘将输气筒中段分隔为互不导通的两个稀释腔；每个稀释腔对应一个输入腔； 第二板设在副隔板下端；第二板靠近输气筒内壁的两个边缘和输气筒内壁之间均形成稀释间隙；稀释间隙的大小由上到下逐渐增大；第二板上端和副隔板固定连接；第一板和第二板固定连接；第一板和第二板在与输送管轴线垂直的水平面上的截面上呈十字状；第二板将每个稀释腔均分隔为第一腔和第二腔；稀释腔的第一腔和对应的输入腔的载气腔连通，稀释腔的第二腔和对应的输入腔的配合腔连通；同一稀释腔的第一腔和第二腔通过稀释间隙连通；第一板和第二板均为绕输气筒轴线螺旋的螺旋板； 在第一板和第二板的引导下，载气和前驱体气体在对应的稀释腔的稀释间隙处进行稀释混合，载气和反应气体在对应的稀释腔的稀释间隙处进行稀释混合。

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