买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉季华实验室申请的专利一种磁约束微波远程等离子源装置、系统及使用方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121726306B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610225026.9，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权一种磁约束微波远程等离子源装置、系统及使用方法是由郭可升;林冠庭;何斌;罗爱鑫;陈欣环设计研发完成，并于2026-02-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种磁约束微波远程等离子源装置、系统及使用方法在说明书摘要公布了：本申请属于远程等离子源技术领域，公开了一种磁约束微波远程等离子源装置、系统及使用方法，磁约束微波远程等离子源装置包括：等离子体反应腔体；微波发生与传输组件，用于产生微波并将所述微波耦合至等离子体反应腔体内；匀气件，用于对输入等离子体反应腔体的工艺气体进行匀化处理；磁场约束组件，包括至少三个沿等离子体反应腔体的轴向间隔排布的线圈单元，线圈单元环绕设置于等离子体反应腔体外；磁场约束组件用于通过向各所述线圈单元输入电流形成对称功率配置，从而在等离子体反应腔体内形成磁约束环，以将等离子体约束在等离子体反应腔体的中心区域；从而提高等离子体密度、减少物理溅射腐蚀、提升工艺均匀性和设备使用寿命。

本发明授权一种磁约束微波远程等离子源装置、系统及使用方法在权利要求书中公布了：1.一种磁约束微波远程等离子源装置，其特征在于，包括： 等离子体反应腔体1，用于为工艺气体提供进行气体电离反应的物理空间； 微波发生与传输组件2，用于产生微波并将所述微波耦合至所述等离子体反应腔体1内，为气体电离提供能量源； 匀气件3，设置于所述等离子体反应腔体1的进气口处，并用于对输入所述等离子体反应腔体1的工艺气体进行匀化处理； 磁场约束组件4，包括至少三个沿所述等离子体反应腔体1的轴向间隔排布的线圈单元401，所述线圈单元401环绕设置于所述等离子体反应腔体1外；所述磁场约束组件4用于通过向各所述线圈单元401输入电流形成对称功率配置，从而在所述等离子体反应腔体1内形成磁约束环，以将等离子体约束在所述等离子体反应腔体1的中心区域；所述对称功率配置是指在等离子体反应腔体1的轴向上，从两侧到中间，各线圈单元401的功率逐渐增加，且各线圈单元401的功率在该轴向上对称分布； 所述微波发生与传输组件2包括微波功率源201、波导202、阻抗匹配单元203和微波腔204；所述波导202连接在所述微波功率源201和所述微波腔204之间，并用于把所述微波功率源201产生的微波传输到所述微波腔204内；所述阻抗匹配单元203设置在所述波导202中，并用于调节微波的传输阻抗；所述等离子体反应腔体1穿过所述微波腔204，所述等离子体反应腔体1由能够透射微波的材质制成； 所述微波腔204与所述等离子体反应腔体1为同轴设置的圆柱状，所述线圈单元401环绕设置于所述微波腔204外。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人季华实验室，其通讯地址为：528200 广东省佛山市南海区桂城街道环岛南路28号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。