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季华实验室刘峰海获国家专利权

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龙图腾网获悉季华实验室申请的专利一种真空系统控制方法及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121751950B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202610238159.X,技术领域涉及:H10K71/00;该发明授权一种真空系统控制方法及系统是由刘峰海;贾智慧;许伟钊设计研发完成,并于2026-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。

一种真空系统控制方法及系统在说明书摘要公布了:本发明涉及设备控制技术领域,尤其涉及一种真空系统控制方法及系统;根据OLED基板打印时间、真空烘烤时间、产线要求产能、实时生产情况和预设的预抽压力生成第一气阀打开状态;在第一气阀打开状态下,获取腔体压力,以得到第一腔体压力;当第一腔体压力大于或等于第一压力阈值,则控制高真空阀关闭;获取分子泵和前级阀之间的管道压力,以得到第一管道压力;根据第一管道压力和预设的高真空阀启动压力控制高真空阀打开;通过采集工艺与产能参数,结合预抽压力精准调控气阀,适配产线节奏;采用分级压力控制高真空阀,避免真空波动,保护OLED基板,提升工艺稳定性与良率,减少泵阀损耗,提高系统可靠性与生产效率。

本发明授权一种真空系统控制方法及系统在权利要求书中公布了:1.一种真空系统控制方法,其特征在于,应用于一种真空系统,所述真空系统包括真空设备、OLED基板、高真空阀、分子泵和前级阀;所述真空设备上开设有真空腔体;所述OLED基板、所述高真空阀、所述分子泵和所述前级阀均设在所述真空腔体上,所述真空系统控制方法包括: 获取OLED基板打印时间、真空烘烤时间、产线要求产能和实时生产情况; 根据OLED基板打印时间、真空烘烤时间、产线要求产能、实时生产情况和预设的预抽压力生成第一气阀打开状态; 在第一气阀打开状态下,获取腔体压力,以得到第一腔体压力; 判断第一腔体压力是否大于或等于预设的第一压力阈值; 当第一腔体压力大于或等于第一压力阈值,则控制高真空阀关闭; 获取分子泵和前级阀之间的管道压力,以得到第一管道压力; 根据第一管道压力和预设的高真空阀启动压力控制高真空阀打开。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人季华实验室,其通讯地址为:528200 广东省佛山市南海区桂城街道环岛南路28号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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