素珀电子科技(上海)有限公司常志勇获国家专利权
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龙图腾网获悉素珀电子科技(上海)有限公司申请的专利一种晶圆校准装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224192407U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520771756.X，技术领域涉及：H10P72/50；该实用新型一种晶圆校准装置是由常志勇;张贵东;侯双明;孟君燕设计研发完成，并于2025-04-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆校准装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆校准装置，包括支撑主体；承载台，设于支撑主体，以支撑晶圆；检测件，设于支撑主体，具有垂向的检测空间，检测空间至少覆盖晶圆的部分边缘；第一驱动装置，设于支撑主体，用于驱动承载台沿第一方向移动；第二驱动装置，设于第一驱动装置，用于驱动承载台沿第二方向移动，第二方向与第一方向相互正交；旋转装置，包括旋转轴，旋转轴的一端穿设于承载台，另一端与第二驱动装置连接，旋转装置用于驱动承载台沿水平方向绕自身轴线旋转；第一驱动装置、第二驱动装置和旋转装置配合驱动晶圆运动，以校准晶圆。本实用新型至少能够解决现有技术中晶圆校准过程繁琐，晶圆校准效率低的问题。
本实用新型一种晶圆校准装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆校准装置，其特征在于，包括支撑主体100； 承载台200，设于所述支撑主体100，以支撑晶圆； 检测件300，设于所述支撑主体100，具有垂向的检测空间，所述检测空间至少覆盖所述晶圆的部分边缘； 第一驱动装置400，设于所述支撑主体100，用于驱动所述承载台200沿第一方向移动； 第二驱动装置500，设于所述第一驱动装置400，用于驱动所述承载台200沿第二方向移动，所述第二方向与所述第一方向相互正交； 旋转装置600，包括旋转轴610，所述旋转轴610的一端穿设于所述承载台200，另一端与所述第二驱动装置500连接，所述旋转装置600用于驱动所述承载台200沿水平方向绕自身轴线旋转； 所述第一驱动装置400、所述第二驱动装置500和所述旋转装置600配合驱动所述晶圆运动，以校准所述晶圆。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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