重庆芯联微电子有限公司任洪兵获国家专利权
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龙图腾网获悉重庆芯联微电子有限公司申请的专利一种实时温控反馈的靶材冷却系统及溅射设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224199452U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520835214.4，技术领域涉及：C23C14/34；该实用新型一种实时温控反馈的靶材冷却系统及溅射设备是由任洪兵设计研发完成，并于2025-04-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种实时温控反馈的靶材冷却系统及溅射设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种实时温控反馈的靶材冷却系统及溅射设备，系统包括靶材固定部、冷却装置和温控反馈装置；所述靶材固定部用于安装靶材，所述靶材固定部中设置有冷却腔；所述冷却装置连通所述冷却腔，用于向所述冷却腔中提供冷却液以对所述靶材进行冷却；所述温控反馈装置包括温度传感器和信号处理器，所述温度传感器设置于所述冷却腔的出液口处，用于监测所述冷却液的温度并通过所述信号处理器反馈至所述冷却装置。本申请通过将温度传感设置于出液口处，避免了因为冷却液在回流管路流动而导致的温度监测以及温控反馈的延时和误差问题，实现了实时的温度监测和快速响应。
本实用新型一种实时温控反馈的靶材冷却系统及溅射设备在权利要求书中公布了：1.一种实时温控反馈的靶材冷却系统，其特征在于，包括靶材固定部、冷却装置和温控反馈装置； 所述靶材固定部用于安装靶材，所述靶材固定部中设置有冷却腔； 所述冷却装置连通所述冷却腔，用于向所述冷却腔中提供冷却液以对所述靶材进行冷却； 所述温控反馈装置包括温度传感器和信号处理器，所述温度传感器设置于所述冷却腔的出液口处，用于监测所述冷却液的温度并通过所述信号处理器反馈至所述冷却装置。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人重庆芯联微电子有限公司，其通讯地址为：401332 重庆市沙坪坝区西永街道西永大道28-2号SOHO楼601-A153；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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