河南东微电子材料有限公司李心然获国家专利权
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龙图腾网获悉河南东微电子材料有限公司申请的专利一种靶材透磁率载物台装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224199457U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520800642.3,技术领域涉及:C23C14/50;该实用新型一种靶材透磁率载物台装置是由李心然;王永超设计研发完成,并于2025-04-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种靶材透磁率载物台装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及靶材生产技术领域,特别是一种靶材透磁率载物台装置,包括底台,所述底台顶面的上方安装有可上下往复运动的升降台。本实用新型的优点在于:底台的顶面安装有L形的检测架,检测架上方的水平部安装有检测设备,在底台的上方安装有可上下往复运动的升降台,升降台上方的中位转动安装有导向架,导向架的内部安装有可前后往复运动的移动架,移动架整体呈U形,移动架外部两侧的上方均安装有支撑台,两个支撑台的顶面均安装有可左右往复运动的移动座,两个移动座之间安装有载物台,使得载物台能够实现升降、旋转、前后、左右运动,将靶材放在载物台的顶面,可实现靶材的移动,以便于检测设备对靶材进行全方位检测。
本实用新型一种靶材透磁率载物台装置在权利要求书中公布了:1.一种靶材透磁率载物台装置,其特征在于:包括底台1,所述底台1顶面的上方安装有可上下往复运动的升降台2,所述升降台2底面的中位安装有第一电机13,所述第一电机13的输出端安装有导向架3,所述导向架3的内部安装有可前后往复运动的移动架4,所述移动架4的整体结构呈U形,所述移动架4两侧的上方均安装有支撑台17,两个所述支撑台17的顶面均安装有可左右往复运动的移动座5,两个所述移动座5之间安装有载物台6,所述底台1顶面一侧的两边均安装有检测架14,两个所述检测架14均为L形,且上部水平,两个所述检测架14的上方均开设有安装槽15,两个所述安装槽15的内部均安装有检测设备7。
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