天合光能股份有限公司葛鹏程获国家专利权
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龙图腾网获悉天合光能股份有限公司申请的专利一种靶材定位供给组件及RPD设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224199466U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520932155.2，技术领域涉及：C23C16/44；该实用新型一种靶材定位供给组件及RPD设备是由葛鹏程;夏锐;张学玲设计研发完成，并于2025-05-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种靶材定位供给组件及RPD设备在说明书摘要公布了：本实用新型揭示了一种靶材定位供给组件及RPD设备，包括靶材承载盘、多个分别用于装载不同类型靶材的坩埚以及顶升装置；所述靶材承载盘能够绕其圆心方向旋转，且边缘位置设置有用于承载所述坩埚的容纳槽孔，并多个所述容纳槽孔在所述靶材承载盘的旋转作用下能够移动至镀膜设备的磁场腔室正下方；所述顶升装置用于将所述坩埚顶升至磁场腔室内或将所述坩埚由磁场腔室移回至所述容纳槽孔中，其中，所述顶升装置以及所述靶材承载盘均设置在同一个底座上。本实用新型通过上述设置，使得RPD设备能够兼容不同类型靶材应用的同时，还有效规避不同类型靶材之间的影响，并能够实现在设备不停机下靶材的高速切换和稳定使用。
本实用新型一种靶材定位供给组件及RPD设备在权利要求书中公布了：1.一种靶材定位供给组件，其特征在于，包括靶材承载盘、多个分别用于装载不同类型靶材的坩埚以及顶升装置； 所述靶材承载盘能够绕其圆心方向旋转，且边缘位置设置有用于承载所述坩埚的容纳槽孔，并多个所述容纳槽孔在所述靶材承载盘的旋转作用下能够移动至镀膜设备的磁场腔室正下方； 所述顶升装置用于将所述坩埚顶升至磁场腔室内或将所述坩埚由磁场腔室移回至所述容纳槽孔中； 其中，所述顶升装置以及所述靶材承载盘均设置在同一个底座上。
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