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拉普拉斯新能源科技股份有限公司刘文韬获国家专利权

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龙图腾网获悉拉普拉斯新能源科技股份有限公司申请的专利尾端盖及原子层沉积设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224199469U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520849555.7,技术领域涉及:C23C16/455;该实用新型尾端盖及原子层沉积设备是由刘文韬;谭祖俭;郭双发设计研发完成,并于2025-04-29向国家知识产权局提交的专利申请。

尾端盖及原子层沉积设备在说明书摘要公布了:本申请涉及光伏和半导体技术领域,尤其涉及一种尾端盖和原子层沉积设备,尾端盖包括:基板,开设有热场安装孔,热场安装孔被构造成插入或抽出热场;加强结构组件,包括:强度件,沿热场安装孔的边缘垂直向远离基板的方向延伸;翼缘板,从强度件远离基板的一端的侧面向外延伸;密封板,密封地安装在翼缘板上,密封板上开设有热场出线孔;出线密封柱,密封的安装在热场出线孔,出线密封柱被构造成与热场电连接。通过调整热场与ALD设备尾端盖的连接方式,利用加强结构组件和密封板对热场进行独立地密封和固定,简化热场的拆装工艺,降低了维护难度并排除了安全风险。

本实用新型尾端盖及原子层沉积设备在权利要求书中公布了:1.一种尾端盖,用于密封炉体的一端,其特征在于,包括: 基板,开设有热场安装孔,所述热场安装孔被构造成插入或抽出热场; 加强结构组件,包括: 强度件,沿所述热场安装孔的边缘垂直向远离所述基板的方向延伸; 翼缘板,从所述强度件远离所述基板的一端的侧面向外延伸; 密封板,密封地安装在所述翼缘板上,所述密封板上开设有热场出线孔; 出线密封柱,密封的安装在所述热场出线孔,所述出线密封柱被构造成与所述热场电连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人拉普拉斯新能源科技股份有限公司,其通讯地址为:518122 广东省深圳市坪山区坑梓街道吉康路1号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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