上海邦芯半导体科技有限公司张朋兵获国家专利权
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龙图腾网获悉上海邦芯半导体科技有限公司申请的专利气缸组件及含有该气缸组件的晶圆夹持机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224200898U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521035939.1，技术领域涉及：F15B15/14；该实用新型气缸组件及含有该气缸组件的晶圆夹持机构是由张朋兵;唐乐;顾橙蕾设计研发完成，并于2025-05-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本气缸组件及含有该气缸组件的晶圆夹持机构在说明书摘要公布了：本申请的实施例涉及晶圆传送技术领域，提供了一种气缸组件及含有该气缸组件的晶圆夹持机构。该气缸组件包括：气缸、输出轴、夹持力调节模块和光学传感器。输出轴的一端滑动设置于腔体内且与活塞连接，输出轴上开设有通孔，气缸上开设连通腔体的第一通气口和第二通气口。在所述输出轴移动路径方向上，活塞在第一通气口和第二通气口之间滑动。本申请的实施例能调节晶圆夹持机构对晶圆施加的力，避免晶圆与晶圆固定结构接触的力度过大，导致晶圆破片。
本实用新型气缸组件及含有该气缸组件的晶圆夹持机构在权利要求书中公布了：1.一种气缸组件，其特征在于，包括： 气缸7，所述气缸7内部具有腔体，所述腔体内移动设置有活塞72； 输出轴71，所述输出轴71的一端滑动设置于所述腔体内且与所述活塞72连接，所述输出轴71上开设有通孔40，所述气缸7上开设连通腔体的第一通气口M1和第二通气口M2，沿着所述输出轴71的移动路径方向，所述活塞72在所述第一通气口M1和所述第二通气口M2之间滑动； 夹持力调节模块30，所述夹持力调节模块30分别连接所述第一通气口M1和所述第二通气口M2； 光学传感器6，设于所述气缸7的输出轴71的移动路径上，用于实时检测所述输出轴71在所述输出轴71的移动路径上的位置。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海邦芯半导体科技有限公司，其通讯地址为：201304 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区平霄路358号7号厂房、9号厂房；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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